Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH 304 #9224044 zu verkaufen

SEZ / LAM RESEARCH 304
ID: 9224044
Weinlese: 2004
Spin processor With chamber 2004 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH 304 ist ein Ätzer/Ascher, der in der Halbleiterverarbeitung verwendet wird. Es ist ein beschleunigter physikalischer Ätzprozess, der eine Kupfer/Beryllium/Sauerstoff (CuBeO) -Quelle verwendet, um eine hohe Rate, präzise und gleichmäßige Folienätzung über eine breite Palette von Materialien zu erhalten. Der Ätzer/Ascher bietet eine vielseitige Prozessfähigkeit für unterschiedliche Ätzanforderungen wie Naßätzen, Trockenätzen und Naßtrockenätzen. Der Primärbetrieb der SEZ 304 besteht darin, einen Hochgeschwindigkeitsätzprozess für Halbleiterscheiben bereitzustellen. Die Vorrichtung weist zwei unabhängige Kammern zum gleichzeitigen Ätzen von bis zu zwei Werkstücken auf. Es ist mit zweifach variierenden Frequenz-HF-Generatoren ausgelegt, die es ermöglichen, mehrere Frequenzen zu erzeugen, so niedrig wie 100kHz und so hoch wie 10MHz. Die Frequenzeinstellungen ermöglichen eine präzise Ätzsteuerung und eine gleichmäßige Filmätzung. Der Prozess wird über ein computergesteuertes Steuersystem initiiert, das einen umfassenden Satz programmierbarer Parameter zur Steuerung des Ätzmusters, der Ätzrate und der Ätztiefe bereitstellt. Die Parameter sind leicht einstellbar und ermöglichen ein effizientes Ätzen. Der Ätzer/Ascher verfügt zudem über eine Sicherheitsverriegelung, die unbefugtes Personal am Betreten des Arbeitsplattenbereichs hindert. Diese zusätzliche Sicherheitsmaßnahme hilft, Missgeschicke zu vermeiden und eine sichere Handhabung von Halbleiterscheiben zu gewährleisten. LAM RESEARCH 304 ist kostengünstig und bietet einheitliche Ätzfähigkeiten für eine Vielzahl von Materialien. Der Ätzer/Ascher bietet Flexibilität und Skalierbarkeit und ist somit ideal für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet. Es verfügt auch über eine Ätzkammer, die mit einem wassergekühlten System schnell abgekühlt werden kann. Dies erhöht die Prozessstabilität und hilft, konsistente Ätzergebnisse zu erzielen. Insgesamt ist 304 ein Ätzer/Ascher, der speziell für die Halbleiterverarbeitung entwickelt wurde. Es verfügt über einstellbare Parameter für präzises Ätzen, eine Sicherheitsverriegelung, Zweifrequenz-HF-Generatoren, einen schnellen Abkühlmechanismus und Skalierbarkeit für Anwendungen. Mit seinem kostengünstigen Design und seiner einheitlichen Ätzfähigkeit ist es ideal für ein zuverlässiges, kostengünstiges Ätzverfahren für Halbleiterscheiben.
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