Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH 305 #293652618 zu verkaufen
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ID: 293652618
Wafergröße: 8"-12"
Weinlese: 2006
Spin processor, 8"-12"
Chamber
2006 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH 305 ist ein hochpräziser Ätzer oder Ascher zur Herstellung von Dünnschichtstrukturen. Diese Vorrichtung weist eine Hochleistungs-Fluorwasserstoff-Gasquelle auf, die für das naßisotrope Ätzen verwendet werden kann. Es ist auch mit einem Pumpensystem ausgestattet, das eine schnelle Evakuierung der Reaktionskammer ermöglicht und ein genaues und schnelles Ätzen von Metall und organischen Dielektrika ermöglicht. SEZ/LAM kann Strukturen bis zu einer Größe von 0,5 Mikrometern ätzen. Dies macht es ideal für die Schaffung von Nanopattern oder andere hochauflösende Schaltungen auf elektronischen Geräten. Die Asche ermöglicht auch eine Selektivitätsätzung, wodurch bestimmte Materialien langsamer geätzt werden können als andere. Beispielsweise kann Siliziumoxid mit einer Geschwindigkeit von 1 µm pro Minute geätzt werden, während andere Materialien bei 10 µm pro Minute geätzt werden können. Dies trägt zur präzisen Herstellung komplexer Strukturen bei. LAM RESEARCH/LAM ist äußerst benutzerfreundlich. Es verfügt über eine intuitive Touchscreen-Oberfläche, mit der Benutzer die Ätzzeiten und -parameter einfach anpassen können. Im Vergleich zu älteren, komplizierteren Ätzern ist die benutzerfreundliche Bedienung von SEZ/LAM RESEARCH/LAM eine deutliche Verbesserung. Das Gerät enthält auch einen programmierbaren Roboterlader, der bis zu fünf Substrate gleichzeitig aufnehmen kann. Dies macht es einfach, mehrere Prozesse parallel durchzuführen und spart Zeit und Geld. In Sachen Sicherheit ist SEZ 305 äußerst zuverlässig. Es verfügt über ein Dreifachventilsystem, um Prozesschemikalien von der Umwelt fernzuhalten. Zusätzlich verwendet sie eine Umwälzpumpe, die eine konstante Strömung aufrechterhält. Dadurch wird der Aufbau schädlicher Chemikalien minimiert. Insgesamt ist LAM RESEARCH 305 ein ausgezeichneter Ätzer für die Dünnschichtherstellung. Die Kombination aus hoher Genauigkeit, benutzerfreundlicher Bedienung und erhöhter Sicherheit macht es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Industrie- und Forschungsanwendungen.
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