Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH 323 #9224055 zu verkaufen

SEZ / LAM RESEARCH 323
ID: 9224055
Wafergröße: 8"-12"
Weinlese: 2012
Spin processor, 8"-12" (2) Chambers 2012 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH 323 ist ein hoch entwickelter Ätzer/Ascher, der speziell für den Einsatz in einer Vielzahl von Produktionsanwendungen entwickelt wurde. Dieses Modell ist mit einem fortschrittlichen Schichtübertragungssystem ausgestattet, das eine hohe Präzision für die fortschrittliche Verarbeitung bietet. Es ist für das direkte Plasmaätzen von hohem Seitenverhältnis über Schichten aus Polymerdünnfilm, Resists und anderen Materialien ausgelegt. SEZ 323 ist auf extrem hohe Spezifikationen gebaut und in der Lage, Profilgenauigkeit von 0,1 Mikrometer bis 100 Mikrometer zu erreichen, wenn mit einer kompatiblen Vorrichtung und Halterung verwendet. LAM RESEARCH 323 bietet einen vollautomatischen Prozess mit einem großen Wafer-Spannfutter für bis zu 8 "Wafer. Das Wafer-Futter ist mit HF angetriebener z-Stufe, einer mechanischen Seitenstufe, einem Schildhalter und zwei Hubstiften ausgestattet. Die mechanische Seitenstufe erleichtert den ein- oder dünnschichtigen Transfer, während der Abschirmungshalter eine gleichmäßige Plasmaenergieverteilung ermöglicht. Das Lift Pin System richtet Substrate exakt aus und verhindert Fensterverschiebungen auf empfindlichen Materialien. 323 verfügt über ein modernes Gas-unterstütztes Ätzsystem, das manuelle Eingriffe eliminiert und Kontaminationen reduziert. Das hocheffiziente Verfahren nutzt Plasma, um die Polymerbindungsschicht zu zerlegen und in der Atmosphäre zu dispergieren, um Muster schnell und einfach zu entfernen. Beim Kernätzen erhält die Prozesskammer eine kontrollierte Atmosphäre, die ein hervorragendes Mikroätzen von ultradünnen Schichten erzeugt. SEZ/LAM RESEARCH 323 verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche, die es dem Bediener ermöglicht, die Maschine für Prozessgeschwindigkeit, Kammervakuum und Ätzrate zu konfigurieren. Darüber hinaus ermöglichen Echtzeit-Druck- und Gasflussüberwachung den Betreibern die Anpassung der Bedingungen an die Bedürfnisse bestimmter Substrate oder Musterkonstruktionen. Der Ätzer/Ascher hat zudem eine reduzierte Stellfläche und Pufferkammergröße, so dass er problemlos in raumeingeschränkte Systeme integriert werden kann. SEZ 323 Ätzer/Ascher ist eine ausgezeichnete Wahl für eine Vielzahl von Produktionsanwendungen und bietet den Betreibern beispiellose Leistung und Zuverlässigkeit. Seine erweiterten Funktionen ermöglichen eine intensive Anpassung, sodass Benutzer die Maschine an ihre spezifischen Prozessanforderungen anpassen können. Mit zuverlässigem Betrieb und genauer Schichtübertragung ist LAM RESEARCH 323 ein unverzichtbares Werkzeug für die Serienproduktion, Prototypenfertigung und Forschung.
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