Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH DaVinci DV Prime #9045178 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9045178
Wet bench, 12"
(8) Chamber main frame, front side and backside processing
Ionization system
Filter fan unit
ISO Class 2
FM 4910 Materials
(4) Load ports
Protocol zone separation
Double side option for (2) chambers
(2) Double side DS chucks
Medium on top level double side
GEM Automation software
SMI S2 & S8 Standard
Flow monitoring and flow control
ECO End effector set
E 84 Parallel I/O
A-Jet option with DI for (2) chambers, internal supply
CO2 Enriched DI water for (2) process chambers
ASD 3: Dry option for spacer etch back for (2) chambers.
SEZ/LAM RESEARCH DaVinci DV Prime ist eine Präzisionsätz- und Aschemaschine, die für High-End-Würfel-, Ablations- und Mikrobearbeitungsanwendungen in der Halbleiter-, MEM- und Medizinprodukteindustrie entwickelt wurde. Mit seiner extremen Genauigkeit, seinem hohen Durchsatz und seiner geringen Fehlerquote wird SEZ DaVinci DV Prime schnell zu einer bevorzugten Wahl für diejenigen, die die Grenzen fortschrittlicher Ätz- und Ascheprozesse verschieben möchten. Die Maschine verfügt über eine hochauflösende 3axis Bewegungssteuerung, die präzise und wiederholbare Bearbeitungsprozesse für das Ätzen und Aschen von beliebigem Material unabhängig von seinen anfänglichen Eigenschaften ermöglicht. Die integrierten integrierten optischen Abbildungssysteme von DaVinci ermöglichen eine präzise Prozessüberwachung, sodass Anwender die Prozessparameter einfach optimieren können, um präzise und fehlerfreie Teile herzustellen. Darüber hinaus können die Ätz- und Ascheprozesse vollautomatisiert werden, mit einer proprietären Schnittstelle für die Überwachung und Steuerung auf hohem Niveau. Die integrierte Software der Maschine umfasst darüber hinaus eine Reihe weiterer prozessbezogener Funktionen, wie z.B. ein automatisches Registrierungssystem für komplexe Geometrien, eine erweiterte Kantenerkennungseinheit und präzise Musteranpassungsfunktionen zur Neudefinition bestehender Prozesse. Dies ermöglicht den Anwendern maximale Prozessflexibilität und Wiederholbarkeit. Außerdem verfügt die Maschine über eine automatisierte Be- und Entlademaschine für maximalen Wirkungsgrad. Der Autoloader ermöglicht es Benutzern, große Chargen von Teilen zu laden und das Entladewerkzeug kann Teile schnell nach ihren Ätz- und Ascheparametern sortieren. Dadurch wird sichergestellt, dass die Endprodukte von höchster Qualität sind und Mängel beseitigt werden. LAM RESEARCH DaVinci DV Prime ist ein vielseitiges und zuverlässiges Werkzeug, das selbst die höchsten Anforderungen erfüllt. Seine umfassenden Funktionen ermöglichen es Anwendern, neue Standards in der Ätz- und Aschegenauigkeit und dem Durchsatz mit unübertroffener Zuverlässigkeit und Effizienz zu setzen. Die Maschine ist für die Ausführung in den anspruchsvollsten Umgebungen konzipiert und eignet sich perfekt für jede Anwendung, die ein hochpräzises Ätzen und Aschen erfordert.
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