Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH DV-34 BF #9389718 zu verkaufen
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ID: 9389718
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Single wafer etcher, 12"
Air valve missing
Loadport
Chamber
Robot
Controller
2005 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH DV-34 BF ist ein leistungsstarker, hochpräziser, reaktiv-ionenätzender Ascher (RIE). Es wurde entwickelt, um höchste Effizienz und Zuverlässigkeit zu erreichen, um strenge Industriestandards zu erfüllen. Das Gerät kombiniert überlegene Technologie und Eigenschaften mit außergewöhnlicher Leistung und Genauigkeit, was zu einer enormen Steigerung der Produktivität für Ätzprozesse führt. SEZ DV-34 BF ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien wie Silizium, Siliziumdioxid und Quarz zu verarbeiten. Das System ist mit einer innovativen Dual-Beam-Auslieferungseinheit konzipiert, um eine präzise Steuerung bei optimaler Leistung und Wiederholbarkeit zu ermöglichen. Das bedeutet, dass das Bauteil gleichmäßig beabstandete und kalibrierte Energieimpulse erhält, die ein genaues Ätzen für jedes Werkstück gewährleisten, was die Wiederholbarkeit und Stabilität des Prozesses verbessert. Die Maschine bietet auch eine breite Palette von Ätztechnologien von der Mikrolithographie bis hin zum fortschrittlichen Ätzen und ist damit die perfekte Lösung für eine Vielzahl von Ätzanforderungen. Das Werkzeug unterstützt bis zu vier verschiedene Strahlen und verfügt über eine Bearbeitung mit nur 19 Minuten Prozesszykluszeit. Es bietet auch mehrere Leistungsstufen von bis zu 250 Watt und bietet Benutzern die Möglichkeit, die höchste Ätzrate in der Branche zu erreichen. Weitere Merkmale der Anlage sind ein super hochauflösendes digitales Bildgebungsmodell mit einem 95 nm Auflösungsscanner und einem Tieftemperaturätzmodus, der ein sicheres Niedertemperaturätzen einer Vielzahl von Materialien ermöglicht. Das Kettenlastproduktivitätsmerkmal erhöht die Prozessgenauigkeit und den Durchsatz weiter und ermöglicht eine synchronisierte Bearbeitung mehrerer Werkstücke gleichzeitig. LAM RESEARCH DV-34BF erreicht die höchsten Präzisionsätzenergebnisse mit seinem eingebauten Schicht-für-Schicht-Tiefgrabenätzenwerkzeug und durch eine AutoTune-Eigenschaft, die die ätzen Tiefe durch das Messen der Probe anpassen, hat Dicke geätzt. Dies gewährleistet Genauigkeit, Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit bei Ätzprozessen. Das Gerät verfügt außerdem über einen leistungsfähigen Datenverarbeitungsprozessor, der die Ätzparameter steuert, um sie für die spezifische Anwendung des Benutzers zu optimieren. SEZ/LAM RESEARCH DV-34BF ist eine ideale Wahl für Ätzaufgaben mit überlegener Technologie, intuitiver Benutzeroberfläche und leistungsstarken Funktionen. Es eignet sich perfekt für hochvolumige und komplexe Ätzanwendungen, sodass Anwender höchste Präzision bei der Arbeit mit einer Vielzahl von Materialien erzielen können.
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