Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293754180 zu verkaufen

SEZ / LAM RESEARCH DV-34
ID: 293754180
Wafergröße: 8" - 12"
Weinlese: 2007
Single wafer etcher, 8" - 12" (4) Chambers 2007 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH DV-34 ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der für die Herstellung hochleistungsfähiger, fortschrittlicher Materialien verwendet werden kann. Es wurde entwickelt, um maximale Flexibilität und Leistung bei der Verarbeitung von organischen und metallischen Materialien zu bieten. SEZ DV-34 Ätzer/Ascher ist mit einem hochfesten Quarzrohr und Ofen, einer automatisierten Gasförderanlage und einem präzisionsgesteuerten Ätz-/Aschesystem gebaut. Quarzrohr und Ofen sind mit einer überlegenen Wärmedämmung für mehr Effizienz und Prozesswiederholbarkeit aufgebaut, während die automatisierte Gasfördereinheit bis zu 10 verschiedene Prozessgase in den gewünschten Verhältnissen und Strömungen bereitstellt. Die Ätz-/Aschemaschine bietet eine Feinsteuerung durch programmierbare kapazitiv gekoppelte Momente. Dadurch wird sichergestellt, dass der Ätz-/Ascheprozess sehr präzise und wiederholbar ist. LAM RESEARCH DV-34 verfügt zudem über eine Hochdruckreaktive Ionenätzung (RIE), die es Herstellern ermöglicht, dickere, härtere Materialien mit hoher Präzision durchzuätzen. Dies ist praktisch, wenn es um die Herstellung von Komponenten mit feinen N-Formen, dünnen Wänden oder anderen detaillierten Features geht. RIE ermöglicht auch das Ätzen von Materialien wie Nitrid, Polysilizium und amorphem Silizium. DV-34 Ätzer/Ascher kommt auch mit reaktiver Gasaktivierung, die hilft, die Prozessrate und Gleichmäßigkeit des Ätzens zu erhöhen. Diese Technologie trägt auch dazu bei, die Oberflächenrauhigkeit und die Abfallmenge durch den Ätzprozess zu reduzieren. Darüber hinaus verfügt SEZ/LAM RESEARCH DV-34 über eine Reihe fortschrittlicher Überwachungs- und Diagnosetools. Dazu gehören audiovisuelle Displays, Temperaturkontrolle, dimensionale Konturierbarkeit und Prozessparameter-Trendüberwachung, um eine optimale Wiederholbarkeit des Ätz-/Ascheprozesses und Erträge zu gewährleisten. Dieser Ätzer/Ascher ist perfekt für die kommerzielle Produktion und F & E-Laborgebrauch. Es ist ideal für die Verarbeitung von fortschrittlichen Materialien in mehreren Formaten, einschließlich Substraten, Wafern und Platten. SEZ DV-34 ist wirklich der Goldstandard für Ätz- und Ascheprozesse.
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