Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293754183 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH DV-34 etcher/aser ist eine leistungsfähige, zuverlässige und kostengünstige Trockenätzanlage, die für den Einsatz in Volumen- und PML-sauberen Produktionsanwendungen entwickelt wurde. Das System bietet überlegene Ätzqualität und Homogenität, die durch optimierte Plasmagleichförmigkeit erreicht werden. Es zeichnet sich in allen Ätzschritten aus und eignet sich auch für Oxid, Nitrid, Polyimid und Metalle, einschließlich Wolfram und Aluminium. Der vielseitige Werkzeugsatz ermöglicht auch das Ätzen präziser Topographie-Funktionen wie Saiten, Schlitze und Pfosten. Dieser fortschrittliche Trockenätzer ist in der Lage, über Temperaturbereiche von 0-750 ° C und mit mehreren Ätzchemikalien wie Sauerstoff, Chlor, Floursilan und Tetrafluorkohlenstoff zu arbeiten. Das Gerät verfügt auch über Hochleistungs-HF mit anpassbarer Top-down und Bottom-up-Plasmasteuerung für Ätzmodifikationen bei Bedarf und ist mit einer einfach zu bedienenden Fernbedienungskonsole für die Plasma-Gleichmäßigkeitskontrolle ausgestattet. Kosten- und Laufeffizienz werden mit optionalem stabilen Quarz-Einzelwafer-Präsenzsensor und automatisiertem Abgas verbessert, um eine konsistente Ätzhausleistung zu erhalten. SEZ DV-34 etcher ist mit umfangreicher Hardware-Redundanz für maximale Betriebszeit und höchste Zuverlässigkeit bei minimaler Wartung ausgelegt. Die 3G/4G/5G Plasmalab-Kammer ist für die Reinigung von Dutzenden von Wafern in einer einzigen Last konzipiert und bietet eine ausgezeichnete Homogenität der Temeratur. Es ist sowohl mit robusten als auch mit empfindlichen PECVD-Folien kompatibel und wird mit optionaler BPSG-Interlevel-Unterstützung angeboten. Es verfügt außerdem über eine integrierte Wärme-/Kartenbackstufe mit ultraflachen Kochplatten zur Prozessverbesserung und Temperatureinheitlichkeitskontrolle. Der Ätzer wurde entwickelt, um strenge Exportkontrollvorschriften einzuhalten und enthält eine Reihe von Prozessüberprüfungsoptionen, um Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Es ist auch mit einer innovativen Wafer-Tracking-Maschine ausgestattet, so dass Benutzer schnell ihre Wafer für den schnellen Abruf finden können. Die gesamte Einheit wird zur Erhöhung der Prozesskontrolle hohen Zyklen-zu-Zyklen-Stabilitätsprüfungen unterzogen. LAM RESEARCH DV-34 ist ein leistungsstarker Trockenätzer, der eine ideale Lösung für anspruchsvolle Ätz- und saubere Produktionsrisiken darstellt. Es ist robust und kostengünstig mit hoher Plasma-Gleichmäßigkeit, ausgezeichneter Ätzqualität und Homogenität sowie umfangreicher Hardware-Redundanz, die Betriebszeit und Zuverlässigkeit gewährleistet. Es ist auch für die Einhaltung von Exportvorschriften konzipiert und ist mit einem innovativen Wafer-Tracking-Tool ausgestattet.