Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293754186 zu verkaufen

SEZ / LAM RESEARCH DV-34
ID: 293754186
Wafergröße: 8"- 12"
Single wafer etcher, 8"- 12" (4) Chambers.
SEZ/LAM RESEARCH DV-34 ist ein Ätzer/Ascher, der für Halbleiteranwendungen verwendet wird. Es ist eine vollständig integrierte, automatisierte Lösung für eine Vielzahl von Prozessen, einschließlich Ätzen, Aschen und sauberes Sputterätzen. Das Gerät nutzt bewährte 100% ein- und doppelseitige Präzisionsätz-/Aschetechnologie und verfügt über eine hochzuverlässige Hard- und Softwareplattform. SEZ DV-34 ist mit einer 1000 W E-Strahlquelle ausgestattet, die sowohl einseitige als auch doppelseitige Ätz-/Aschevorgänge durchführen kann. Die thermischen Glühfähigkeiten des Systems machen es für Materialien auf Siliziumbasis geeignet. Die Konstruktion und der hohe Durchsatz des Geräts machen es ideal für fortschrittliche Hochvolumenherstellung und Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Darüber hinaus ist die Maschine mit einem präzisen Steuerwerkzeug ausgestattet, das eine präzise Steuerung der Prozessparameter ermöglicht. Die intelligente Überwachungsfähigkeit des Asset ermöglicht es, Fehler im Substrat vor dem Ätzen/Aschen zu erkennen, was Zeit und Geld spart. Der Prozess kann auf die Bedürfnisse des Benutzers zugeschnitten werden, mit Optionen zur Anpassung der Ätzparameter für eine genauere Steuerung. Die interaktive Prozesssteuerungssoftware ist ebenfalls enthalten, die detaillierte Prozessinformationen in Echtzeit bereitstellt. Die Software erstellt ein automatisiertes Kit-Layout, so dass Anwender sicherstellen können, dass der Ätz-/Ascheprozess für die gewünschte Anwendung optimiert wird. Die Datenanalysefunktionen der Software ermöglichen es dem Benutzer, Prozessdaten zu analysieren und sicherzustellen, dass der Prozess für die gewünschte Anwendung optimiert ist. Das Modell weist außerdem eine Doppelkammerkonstruktion auf, die es ermöglicht, mehrere Ätzvorgänge gleichzeitig durchzuführen. Auf diese Weise entfällt die Notwendigkeit mehrerer eigenständiger Systeme, so dass sie sich besonders für große Produktionsläufe eignen. Das Doppelkammerdesign maximiert die Ätzgleichförmigkeit und sorgt für minimale Unterschiede zwischen den Substraten. Die Ausrüstung entspricht dem SEMI-Standard 200 und verfügt über eine breite Palette von Prober-kompatiblen Vorrichtungen, wodurch sie mit einer breiten Palette von Kundenausstattungen kompatibel ist. Das System verfügt außerdem über eine umfangreiche lebenslange Garantie, die Unterstützung und Sicherheit gewährleistet. Abschließend ist LAM RESEARCH DV-34 etcher/asher eine fortschrittliche, vollständig integrierte Einheit, die präzise Ätz-/Ascheoperationen mit minimaler Umweltbelastung ermöglicht. Die Maschine ist mit einer leistungsstarken E-Beam-Quelle, genauen Steuerungsfunktionen und Echtzeit-Datenanalysefunktionen ausgestattet und eignet sich somit für große, komplexe Anwendungen. Das Doppelkammerdesign des Werkzeugs, die proberkompatiblen Vorrichtungen und die lebenslange Garantie machen es zu einer zuverlässigen Lösung für eine Vielzahl von Ätz-/Ascheprozessen.
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