Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #293758354 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH DV-34 ist eine innovative Ätz- und Aschemaschine, die präzise, wiederholbare Ergebnisse für eine Vielzahl von Verarbeitungsschritten im Zusammenhang mit der Halbleiterherstellung liefert. Die Kammer des Systems ist eine kompakte, zylinderförmige Konstruktion, die bei 1,2 Meter groß mit einem Durchmesser von 40cm steht. Es ist auf die Verarbeitung kleiner Chargen zugeschnitten und eignet sich somit ideal für die Entwicklung von Prototypen und Forschungslabors. Es ist auch in der Lage, hohe Serienaufträge zu bewältigen. SEZ DV-34 verfügt über Druck-, Temperatur- und Gaskontrolle, die ein präzises Ätzen und Aschen einer Vielzahl von Materialien ermöglicht, einschließlich Silizium, Galliumarsenid, Galliumnitrid und Aluminium. Der Druck im Aggregat ist mit einem Bereich von 5 bis 20 Torr und einer Schwankungsgrenze von 0,02 Torr leicht regelbar. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine Neigungswinkeleinstellung des Reaktors, die es dem Anwender ermöglicht, die Ätzraten genau zu steuern, sowie ein vollständig integriertes Schieberventil für die Rezepturanpassung. Das Tool unterstützt außerdem mehrere Gasquellen, darunter Argon, Sauerstoff, CF4/CHF3, NF3 und Cl2. Es verfügt über eine Leitung für Leitung Gasstrom-Monitor für die Gasüberwachung am Einlass (I-Typ) und Auslass (F-Typ). Es zeigt auch eine Reihe von Sensoren, einschließlich eines Transportunternehmenmassendurchflussmonitors/Meter, Torklappendruck-Monitors und Druck-Regulierungskontrollmaße im Heizungszusammenbau. Die Prozesssteuerungssoftware für LAM RESEARCH DV-34 ist intuitiv und benutzerfreundlich, mit einer Rezeptbibliothek für die Verwaltung anderer Rezepte. Es verfügt über ein Datenlogging-Asset mit der Möglichkeit, bis zu 200 Rezepte und bis zu 2.000 Datenpunkte zu speichern. Es ist in der Lage, gleichzeitig bis zu 20 Parameter in Echtzeit zu überwachen. Die leistungsstarke Software ermöglicht zudem eine effektive Modellüberwachung, Kalibrierung und Prozesssteuerung. Insgesamt ist DV-34 eine leistungsstarke, präzise und zuverlässige Ätz- und Aschemaschine, die eine Reihe leistungsstarker Funktionen bietet, um Benutzern zu helfen, das Beste aus ihrem System herauszuholen. Es ist perfekt für Forschungslabore, Entwicklungslabore und Serienproduktionen gleichermaßen.