Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH DV-34 #9267768 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH DV-34 ist ein Präzisionsascher/Ätzer, der zur schnellen und zuverlässigen Bearbeitung von Substraten mit einer automatisierten Zwei-Temperatur-Abgabeeinrichtung entwickelt wurde. Das umfassende Design dieses Geräts bietet Standardleistung für Anwendungen, einschließlich, aber nicht beschränkt auf, über Etch, TMR über Etch, Dual Damascene, Gate Etch, Hartmaskenätzen, dielektrische Entfernung zwischen Schichten, rückseitiges Ätzen von Wafern und isotropes Ätzen. Dieses Gerät verfügt über ein Dual-Temperatur-Liefersystem zur Verbesserung der Verarbeitungssicherheit und des Durchsatzes. Die beiden Temperaturströme sind unabhängig programmierbar, um ideale Ätz- oder saubere Rezepte zu erzielen. Dies geschieht durch die Verwendung eines einzigartigen Wärmetauschers für die obere und untere Platte. Zur SEZ DV-34 Ätz-/Aschereinheit gehört auch eine Hochwasserkühlmaschine. Das Kühlwerkzeug ist so ausgelegt, dass die Substratoberfläche schneller gleichmäßig gekühlt wird. Dies ermöglicht eine höhere Genauigkeit Ätz- und saubere Rezepte sowie verbesserte Erträge. LAM RESEARCH DV-34 ist mit einem Prozessgasmanagement ausgestattet. Dieses Modell ermöglicht eine präzise Regulierung von Prozessgasen wie Sauerstoff, Chlor und anderen korrosiven Gasen. Diese Ausrüstung hilft, Rezepte zu vereinfachen und bietet verbesserte Prozessreinheit und Kontrolle. Die Kammernachrüstung dieses Systems ist schnell und einfach, da die Warmwandkonstruktion schnelle Nachrüstungen ermöglicht, ohne die Kammerintegrität zu beeinträchtigen. Dieses Merkmal von DV-34 sorgt auch für geringere Nachrüstkosten. Mit dieser Kammer sind auch die Prozeßtechnologien auf dem Gebiet problemlos in der Lage, Plasmadiagnostik und Prozessentwicklung durchzuführen. Darüber hinaus wird die SEZ/LAM RESEARCH DV-34 von einer Reihe integrierter Controller und Schnittstellen angetrieben. Dies beinhaltet eine ganze Reihe von Steuerungsoptionen, einschließlich einer benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche, einem Rezepteditor und erweiterten statistischen Prozesssteuerungsfunktionen. Diese Merkmale tragen zu verbesserten Ausbeuten und vereinfachten Prozessen bei und sollen die Prozessstabilität für eine hohe Werkzeugproduktivität verbessern. Schließlich ermöglicht diese Einheit eine ausgezeichnete langfristige Prozessstabilität mit einer Auswahl an Prozessspülungen und Reinigungsrezepten. Die Reinigungsrezepte helfen, Kontaminationen zu reduzieren und die Effizienz des Ätzprozesses zu verbessern. Dadurch wird zusätzlich sichergestellt, dass der Ätzprozess konzipiert arbeitet. Abschließend ist SEZ DV-34 eine vielseitige, effiziente und zuverlässige Ätz-/Aschermaschine. Seine Dual-Temperatur-Förder- und Hochwasserkühlsysteme sorgen für Gleichmäßigkeit und verbesserte Substratgenauigkeit. Darüber hinaus sorgen die intelligente Software und das robuste Prozessgasmanagement für eine hervorragende langfristige Prozessstabilität für optimale Erträge.