Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH DV-38 DS #9240169 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH DV-38 DS etcher ist eine hochmoderne, vorgemischte, niederdruckige, direkt nachgeschaltete Plasmaätzanlage. Dieser Ätzer wurde speziell für Anwendungen entwickelt, die eine extrem hohe Ätzqualität und Gleichmäßigkeit erfordern. SEZ DV-38 DS ist das ideale Ätzsystem für eine Vielzahl von Materialtypen, darunter Verbundhalbleitermaterialien, Titannitrid, Diamant und Nitrid-Hartmasken. Diese Einheit verwendet eine leistungsstarke nachgeschaltete Plasmabearbeitungsmaschine, um ausgezeichnete Ätzraten zu gewährleisten. LAM RESEARCH DV-38 DS-Tool verwendet eine induktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP) für die Plasmaerzeugung. Diese Art von Plasmaquelle bietet überlegene Wiederholbarkeit, lange Lebensdauer und hohe Drucksteuerung. Der Druck ist einstellbar, um Ätzraten und Gleichmäßigkeit zu optimieren und gleichzeitig Verschmutzungen oder „Memory-Effekte“ zu minimieren. Die Dual-Plasma-Source-Konfiguration steigert die Leistung weiter und eliminiert die Notwendigkeit einer periodischen Nachschub von Verbrauchsmaterialien. DV-38 DS ist mit präzisen Massendurchflussreglern für die Niederdruckregelung und genaue Mengen an Arbeitsgas ausgestattet. Die Anlage verfügt auch über variable Gaseinspritzung mit kleiner Düsentechnologie für einen sehr gleichmäßigen Gasfluss und eine genauere Steuerung des Ionenbeschusses. Dies bietet bessere Funktionsprofile, höhere Definition, verbesserte isotrope Ätzrate und bessere Selektivität. Für eine verbesserte Ätzgleichmäßigkeit und eine effizientere Materialentfernung verfügt SEZ/LAM RESEARCH DV-38 DS-Modell auch über eine „Hot Edge“ -Funktion. Diese Funktion trägt zur Verbesserung der Ätzgleichmäßigkeit bei und macht die Leistungspegel an den Rändern des Wafers konsistenter. Die SEZ DV-38 DS-Ausrüstung ist für die Serienfertigung mit gründlicher Prozesskontrolle ausgelegt. Es verfügt über eine vollautomatische Ladestation und ein hochwertiges Vakuumsystem, um konstante, saubere Bedingungen zu gewährleisten. Die computergesteuerte Schnittstelle ermöglicht den Zugriff auf alle wichtigen Prozessparameter von einem einzigen Ort aus. Zusätzlich können optionale Softwareänderungen am Gerät vorgenommen werden, um die Ätzqualität und Wiederholbarkeit weiter zu verbessern. Dieser fortschrittliche Ätzer ist ein wertvoller Vorteil für diejenigen, die hochpräzise Ergebnisse benötigen. LAM RESEARCH DV-38 DS Maschine bietet überlegene Ätzraten, Einheitlichkeit und Wiederholbarkeit, so dass Hersteller und Forscher Materialien vertrauensvoll verarbeiten können.