Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH DV-38 #9098878 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9098878
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Etchers, 12"
Power: 400VAC / 3P+N , 63A, 50 / 60Hz
General data
Equipment platform:
(8) Chambers
Handling: Sankyo frontside
(1) Chemistry
Cassette loading:
Operator: Yes
Overhead transport system (OHT): Yes
Fab layout:
Through the wall: Yes
Front machine section:
Front frame:
(3) Load ports
Front section:
Robot & controller
Robot end effector
Main PC
Front FFU
Buffer station
Rear section:
General data for chemical blend module (CBM)
Material: FM-complaint (Mat.: PVDF)
Door hinges: Left
Position of CCC, UPS for CCC and hand shake box: Left
Position of monitor & keyboard: Left
Position of the CBM Type B: Seperate
CBM Type B connected to system: DV38F
Rear section:
ECO
FFU
Control cabinet
Process section Left:
PSL 1:
Process chamber
Chuck
Spindle unit
Dispenser motors
PSL 2:
Process chamber
chuck
Spindle unit
Dispenser motors
PSL 3:
Process chamber
chuck
Spindle unit
Dispenser motors
PSL 4:
Process chamber
chuck
Spindle unit
Dispenser motors
Gas facility box:
Regulators & MFC's
CDS:
Pump,valves, chemistry lines
General data for chemical blend module (CBM):
Material: FM-complaint(Mat.: PVDF)
Door hinges: Right
Position of CCC, UPS for CCC and hand shake box: Right
Position of monitor & keyboard: Right
Position of the CBM Type B: Seperate
CBM Type B connected to system: DV38F
Process Section Right:
PSR 1:
Process chamber
Chuck
Spindle unit
Dispenser motors
PSR 2:
Process chamber
chuck
Spindle unit
Dispenser motors
PSR 3:
Process chamber
chuck
Spindle unit
Dispenser motors
PSR 4:
Process chamber
chuck
Spindle unit
Dispenser motors
2006-2007 vintages.
SEZ/LAM RESEARCH DV-38 ist ein langlebiger und zuverlässiger Ätzer & Ascher, der gleichbleibend hochwertige Verarbeitungsergebnisse liefert. Das Gerät ist entweder in Ein- oder Zweikammer-Konfigurationen erhältlich und verfügt über eine automatisierte oder manuelle Wafer-Montagefähigkeit. Das System umfasst ein Drei-Zoll-Wafer-Spannfutter, das von einem Hochgeschwindigkeits-Linearmotor angetrieben wird. Das Spannfutter ist horizontal, vertikal und bidirektional bewegbar, und die Einheit bietet ein optimiertes Ätz-/Ascheprofil mit einem Wafer-zu-Kammer-Spalt von 0,005 „- 0,400“. SEZ DV-38 umfasst eine digitale Wafer-Positioniermaschine (DWPS) mit einem geschlossenen Servowerkzeug zur genauen Positionierung von Wafern. Es verfügt über eine integrierte Prozesssteuerung und Überwachung, die Wafertemperaturmessungen, Kammerdruck und Rezepturmanagement umfasst. Das Modell ist mit optionalen Temperatur- und Durchflussreglern ausgestattet, die präzise Verarbeitungsbedingungen und eine enge Steuerung der Prozessparameter ermöglichen. LAM RESEARCH DV-38 wurde entwickelt, um eine schnelle und genaue Verarbeitung von Standard- und Explorationswafern zu ermöglichen. Eine intuitive Bedienoberfläche ermöglicht eine schnelle Einrichtung und Bedienung und das Gerät ist so konzipiert, dass es direkten Zugriff auf Prozessparameter bietet. Das System ist auch erweiterbar und in der Lage, eine Vielzahl von Peripheriegeräten, wie Resiststreifen und Planarisierungssysteme bedienen. Optional stehen Hoch- und Niederdruckkonfigurationen zur Verfügung, die einen Überdruck von bis zu 10 Torr für Hochleistungsprozesse ermöglichen. DV-38 ist für den Einsatz in der Halbleiterwaferbearbeitung bestimmt und kann Hochleistungs-Ätz- und Ascheprozesse bereitstellen. Es bietet eine robuste Plattform für experimentelle Verarbeitung und Prozessentwicklung und ist in der Lage, in Batch- oder kontinuierlichen Prozessmodi zu arbeiten. Das Gerät ist einfach zu installieren und zu warten und kann konsistente und wiederholbare Ergebnisse liefern.
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