Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH DV-38DS #9054505 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9054505
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Wet station, 12"
Parts missing
2006 vintage.
SEZ / LAM RESEARCH DV-38DS ist eine Doppelwelle, hohe Geschwindigkeit, Mehrraum etcher/asher, der höhere, rentable etching/ashing Leistung bietet. Die Serie SEZ DV-38DS wird als fortgeschrittene Werkstoffverarbeitungsätzer/-ascher bezeichnet und eignet sich ideal für Produktions- und Forschungs-/Entwicklungslabore. Die LAM RESEARCH DV-38DS Serie nutzt sowohl vertikale als auch tangentiale Ätz-/Aschewellen und bietet in jeder Charge sehr einheitliche Ätz-/Aschevorgänge. Modernes Thermomanagement und fortschrittliche Kühltechniken für höchste Prozesswiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit. DV-38DS Serie ist in zwei Konfigurationen mit einem oder zwei Kammersystemen erhältlich. Es ermöglicht das unabhängige Ätzen/Aschen von Teilen mit mehreren Materialien in jeder Kammer, wodurch ein bequemer, kontinuierlicher Betrieb gewährleistet ist. Der Hochgeschwindigkeitsbetrieb und die optimierte Kammerkonstruktion erhöhen den Prozessdurchsatz und verringern die Zykluszeit. SEZ/LAM RESEARCH DV-38DS bietet fortschrittliche Steuerungen zum präzisen Ätzen/Aschen von Materialien wie Metallen, Oxiden und Polymeren. Dies beinhaltet die Möglichkeit, Temperatur, Gasmix, Druck und Kammergröße für maximale Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu steuern. SEZ DV-38DS umfasst ein umfassendes Prozessüberwachungssystem, um konsistente Prozessergebnisse zu gewährleisten. LAM RESEARCH DV-38DS Serie umfasst auch eine HF-Quelle für Hochdichteplasma (HDP) Ätz-/Ascheprozesse. HDP-Ätzen/Aschen ermöglicht hochwertige Oberflächenveredelungen und hohe Ätz-/Ascheraten. DV-38DS Serie bietet auch die Möglichkeit, Abscheidungsgase während des HDP-Prozesses zu mischen, was Mehrkomponentenablagerungen ermöglicht. Die SEZ/LAM RESEARCH DV-38DS Serie ist benutzerfreundlich und verfügt über eine intuitive Bedienoberfläche mit grafischen Anzeigen von Prozesseinstellungen und Ergebnissen zur einfachen Überwachung. Die Serie bietet auch eine breite Palette von Diagnosediagnosen, darunter Prozessverläufe, Alarmierungs- und Ätzprofile. Die SEZ DV-38DS Etcher/Asher-Serie ist die ultimative Lösung für fortschrittliche Ätz- und Aschesysteme. Einfach zu bedienen, bietet LAM RESEARCH DV-38DS eine überlegene Ätz-/Ascheleistung für Produktions- und Forschungs-/Entwicklungslabore. Die fortschrittliche Steuerung und Prozessüberwachung machen es perfekt für Anwender, die auf Abruf, wiederholbare Genauigkeit und Zuverlässigkeit benötigen.
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