Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH DV-38F #9022266 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9022266
Weinlese: 2007
System, parts machine
Chemical supply module
Missing parts: robot, stage, computer
Type: CBM-Type B
Position 1: LD, ULD Ports
Robot (Transfer unit): RBT (RS-8240)
Ionizer: Controller model 5024
Position 2: Buffer station
Robot (Transfer unit): Dual ECO Gripper left/right
Robot arm: Al anodized
Ionizer: AeroBar model 5285 (e)
Horiba HF monitor CM-210
Position 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9: PMR1-PMR4, PML1-PML3
Robot (Transfer unit): Rear machine handling - (Twin ECO gripper)
Chamber material: PP
Chamber shape: Ring type
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chamber lower section: PP
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Chamber cleaning: DIW
Ionizer: QuadBar 4630-DS
ABB Protronic 500 Temp controller: in-line heater controller
Position 10: PML4
Robot (Transfer unit): Rear machine handling - (Twin ECO gripper)
Chamber material: PP
Chamber shape: Ring type
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chamber lower section: PP
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Chamber cleaning: DIW
Trebor 110R Pump
Entegris 0.03um Filter
Quickchange disposable filter QCDYATMTF Housing
Ionizer: QuadBar 4630-DS
Position 11: CHC1L
Chamber material: PP
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Siemens heater
Almatec chemical drain pump
Trebor 110R Pump
Entegris 0.03um Filter
Quickchange disposable filter QCDYATMTF Housing
Levitronix BPS-3 process supply pump
Position 12: CHC1L
Chamber material: PP
Chamber chuck material: PVDF / PETP / Stainless steel
Robot arm: PVDF (Pins), PETP (Assembly)
Chemical supply piping: PFA
Drain piping: PVDF
Siemens heater
Almatec chemical drain pump
Levitronix BPS-3 process supply pump
Position 13:
Chamber chuck material: Chuck drive unit Al - anodized
Megasonic: Honda-Ultrasonic flow meter USF100A type
230 VAC, 1 P+N, 50/60 Hz
Max current: 2 A
Breaking capacity: 10,000 AIC
2005 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH DV-38F ist ein fortschrittlicher Hochleistungsätzer/Ascher für die Halbleiterindustrie. Es ist ein voll integrierter Ascher, der sowohl chemische als auch Plasmabearbeitungsfähigkeiten im selben Gefäß bietet. Dadurch kann er als Ätzer, Ascher oder beides für eine Vielzahl von Anwendungen betrieben werden. Es ist ein High-End-Ätzer/Ascher, der schnelle Zykluszeiten mit Präzisionsabscheidungssteuerung und Gleichmäßigkeit der geätzten Funktionen hat. Es verwendet ozonbasiertes Plasma und energetisches Ionenbeschuss, um Zielmaterialien mit höchster Genauigkeit genau zu ätzen. Es arbeitet sowohl an komplexen 3D-Geometrien als auch an sehr dünnen Filmen. Das einzigartige Design von SEZ DV-38F verfügt über ein modulares, multifunktionales Konzept, das es ermöglicht, jedes Modul allein als eigenständige Einheit zu verwenden oder in komplexen Konfigurationen für speziellere Anwendungen mit anderen Modulen zu verbinden. Mit seinen leistungsstarken und vielseitigen Eigenschaften ist es in der Lage, eine Vielzahl von Materialien zu verarbeiten, darunter Metalloxide, Silizium, Verbundnitride und Polysilizium. Der Ätzer/Ascher ist mit einer breiten Palette von Materialien und Chemikalien kompatibel und ist somit ein ideales Werkzeug für die Verarbeitung von Metalloxiden, Verbundnitriden, Wolfram und Polysilizium für die Großgeräteherstellung. Das Bordfördersystem ermöglicht die Weiterverarbeitung dieser Materialien im gleichen Prozesszyklus in einem einzigen Schritt, wodurch ein höherer Produktionsdurchsatz erreicht wird. Der Ätzer/Ascher verfügt über bis zu vier Vorkammer-Türen, die geöffnet oder geschlossen werden können, um Verschmutzungen während der Verarbeitung zu verhindern. Darüber hinaus verfügt es über ein umfangreiches Spektrum an Sicherheitsmerkmalen, um sicherzustellen, dass dem Personal oder der zu bearbeitenden Vorrichtung kein Schaden zugefügt wird. LAM RESEARCH DV-38F ist ein Top-End-Ätzer/Ascher, der in der Lage ist, hervorragende Ergebnisse zu erzielen und gleichzeitig einen großen Produktionsdurchsatz zu erhalten. Mit seiner fortschrittlichen Präzisionssteuerung und effizienten Prozesszyklen ist es ein ideales Werkzeug für diejenigen, die einen fortschrittlichen Ätzer/Ascher suchen.
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