Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH DV-38F #9022268 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH DV-38F ist eines der fortschrittlichsten Plasmaätz-/Aschermaschinen für die Halbleiterverarbeitung. Es ist eine Niedertemperatur-, Niederleistungs-, Hochleistungs-Ätz-/Ascher-Ausrüstung, die zur Materialabscheidung, Ätzung und Planarisierung verschiedener Materialien verwendet werden kann. Das System ist vielseitig und zuverlässig ausgelegt und ermöglicht eine präzise Plasmakontrolle und Abscheidegeschwindigkeitsoptimierung. Die Einheit besteht aus einer Kammer, einem Gaskasten, einer Stromversorgung, einem Regler und einer Filtrationsmaschine. Die Kammer ist für bis zu sechs Wafer ausgelegt, so dass das Werkzeug mehrere Wafer gleichzeitig bearbeiten kann. Es wird auch mit einem wärmeisolierten Deckel ausgestattet, der den Kammerinhalt auf einer konstanten Temperatur hält. Der Gaskasten liefert die zur Bearbeitung der Wafer erforderlichen Gase, einschließlich der zum Ätzen und Abscheiden erforderlichen reaktiven Gase. Die Stromversorgung dient zur Erzeugung von Hochfrequenzplasma, das eine präzise Steuerung der Ionenbeschussenergie ermöglicht. Der Controller sammelt Daten aus dem gesamten Asset und passt die Gasströme und Leistungseinstellungen für eine optimale Plasmaätzung und -abscheidung an. Schließlich filtert das Filtermodell die Abgase und sorgt für einen sauberen Betrieb. SEZ DV-38F bietet eine genaue Prozesssteuerung zum Ätzen und Abscheiden sowie eine Vielzahl von Anpassungs- und Prozessoptimierungsoptionen. Es ist in der Lage, sowohl planare als auch dreidimensionale Strukturen mit hoher Gleichmäßigkeit über mehrere Wafer zu verarbeiten. Die Ausrüstung ist gut für eine Vielzahl von Materialien geeignet, mit niedrigen Temperaturbedürfnissen und niedrigem Stromverbrauch. Darüber hinaus verfügt LAM RESEARCH DV-38F über eine benutzerfreundliche Schnittstelle mit Fernzugriff und Selbstdiagnose, die eine einfache Einrichtung und kontinuierliche Überwachung ermöglicht. Das System verfügt auch über eine Sofortrückkopplungseinheit, die Echtzeitdaten über den Prozess selbst bereitstellt. Daher ist DV-38F die perfekte Lösung für jede Halbleiterherstellung oder Forschungseinrichtung, die nach einer zuverlässigen und kostengünstigen Ätz-/Aschermaschine sucht.