Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH DV PRIME #293754190 zu verkaufen
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ID: 293754190
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2011
Etcher, 12"
(8) Chambers
2011 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH DV PRIME ist ein Ätzer/Ascher, der speziell für die Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es ist eine Batch-Prozessausrüstung, die Anwendern ein zuverlässiges, wiederholbares und genaues Ätzen oder Aschen von Substraten mit sehr hohem Durchsatz ermöglicht. Das System ist mit einer neuen leistungsstarken und intuitiven Windows-Bedieneinheit ausgestattet, mit der Benutzer Batch-Prozessparameter einfach und effizient programmieren können. Die Maschine kann beliebig viele Substrate im Substrathalter handhaben, so dass Benutzer ihre eigene gewünschte Losgröße innerhalb des Werkzeugs programmieren können. Es verfügt auch über einen automatisierten Aufzug zum Be- und Entladen von Substraten sowie ein internes Vakuumfutter für einen höheren Durchsatz bis zu 0,2 Mikron Linienbreite. Es ist auch mit einem eingebetteten programmierbaren Logikcontroller (SPS) ausgestattet, mit dem Benutzer einzelne Ätz-/Ascheprozesse programmieren und protokollieren können. SEZ DV PRIME verfügt dank seiner proprietären Tropf-on-Demand und Puls-Feuer-Laserentladungsquellen über leistungsstarke Ätzfunktionen. Die Entladung ist in einer maßgeschneiderten Kammer untergebracht, die Benutzern ein kontaminationsfreies, hochpräzises Ätz-/Ascheverfahren bietet. Die Kammer ist auch mit einer fortschrittlichen Abgasanlage ausgestattet, die einen schnellen gleichmäßigen Gasfluss in der Kammer ermöglicht und konsistente und zuverlässige Ätz- oder Ascheergebnisse liefert. Im Hinblick auf die Sicherheit ist der Ätzer/Ascher mit mehreren Sicherheitssystemen ausgestattet, einschließlich eines Deckelverriegelungsmodells für den Insassenschutz, Drucklecksensoren, Gassicherheitsabschaltungen und einer Temperaturalarmausrüstung. Dadurch wird sichergestellt, dass das System den neuesten Sicherheitsvorschriften und -standards entspricht und somit eine sichere Ätz- und Ascheeinheit für Benutzer ist. Insgesamt ist LAM RESEARCH DV PRIME ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der speziell für die Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Die Maschine ist für genaues, zuverlässiges und wiederholbares Ätzen/Aschen von Substraten mit sehr hohem Durchsatz ausgelegt. Es ist mit einem neuen Windows-Bedientool ausgestattet und verfügt über mehrere Sicherheitssysteme, um sichere und konforme Operationen zu gewährleisten.
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