Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH DV PRIME #9211223 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH DV PRIME ist ein fortschrittlicher, hochzuverlässiger und kostengünstiger Ätzer/Ascher, der für die Verarbeitung verschiedener Materialien mit hohem Durchsatz ausgelegt ist. Es bietet eine integrierte Lösung für eine Vielzahl von Abscheide-, Ätz- und Ascheprozessschritten. Der Ätzer/Ascher ist mit einer leistungsstarken, mittelfrequenten, gepulsten, mehrfrequenten HF-Stromquelle, einer langen Lebensdauer-Kammer und einer automatisierten Prozesssteuerung und -überwachung ausgestattet. SEZ DV PRIME kann eine Reihe von Wafergrößen von 200mm bis 450mm ätzen und aschen. Es hat auch eine Mehrzweckkammer, die eine mehrstufige Verarbeitung ermöglicht. Die Kammer kann mit mehreren Ätzchemien, wie Sauerstoff, Chlor, Fluor, SF6 und NF3, und einer Vielzahl von Substratmaterialien, wie Silizium, Siliziumoxid, Nitrid, Polysilizium, Galliumarsenid, Germanium und Kupfer, ausgestattet sein. Die automatisierten Funktionen zur Prozesssteuerung und -überwachung reduzieren die Ätzzeiten und ermöglichen wiederholbare Prozessergebnisse. Die Kammer ist gebläsegekühlt und mit einer Vielzahl von oberen und unteren Elektrodenkonfigurationen ausgestattet, die Designflexibilität für einzigartige Prozessanforderungen bieten. Die Kammer weist ferner einen Niederlasttemperaturwächter, eine Drucküberwachungseinrichtung und ein Blasensystem zur Zufuhr von optionalen Gasen auf. Zur Sicherheit kann ein Inertgas verwendet werden. Die Kammer weist ferner eine programmierbare Durchflußgassteuereinheit und einen 4-Kanal-Temperaturregler mit einer minimal erreichbaren Temperatur von -20 ° C auf. Die Maschine ist so konzipiert, dass sie den geltenden Sicherheitsstandards, einschließlich CE-Zertifizierung und ANSI-Zertifizierung, entspricht. LAM RESEARCH DV PRIME etcher/asher ist eine zuverlässige und vielseitige Ätz- und Aschelösung für eine Vielzahl von hochvolumigen Verarbeitungsanforderungen. Seine flexiblen, automatisierten Funktionen zur Prozesssteuerung und -überwachung können Ätzzeiten verkürzen und wiederholbare Prozessergebnisse liefern. Seine ventilatorgekühlte Kammer und anpassbare obere und untere Elektrodenkonfigurationen bieten hochpräzise Ätz- und Aschefunktionen, wodurch es für eine Vielzahl von Substraten geeignet ist. Das Inertgas-Sicherheitswerkzeug erhöht seine Zuverlässigkeit und Sicherheit für den Betrieb. Die Anlage ist so konzipiert, dass sie den geltenden Sicherheitsstandards entspricht.