Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH DV PRIME #9239260 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH DV PRIME ist eine kompakte, vielseitige halbautomatische Chargenätz-/Aschebearbeitungsanlage zum Ätzen und Aschebeschichten unterschiedlichster Substrate. Dieses System ist ideal für Ätz-/Ascheanwendungen in vielen Anwendungen, einschließlich Durchgangsloch, Rückendrillätzen, Bleiveränderungen und Lötstößen an der Oberfläche. Das Gerät liefert zuverlässige, wiederholbare und konsistente Verarbeitungsergebnisse, die eine leistungsfähige Waferproduktion ermöglichen. SEZ DV PRIME verfügt über einen 4-achsigen Roboterarm mit Präzisionswerkzeugen, die auf Präzision und wiederholbare Prozesssteuerung ausgelegt sind. Die Roboterautomatisierung umfasst eine integrierte Gas- und Flüssigkeitsliefermaschine, die eine genaue und präzise Abgabe von Gasen, Flüssigkeiten und Sprühmaterialien ermöglicht. Das Gas- und Flüssigkeitsabgabewerkzeug wird durch ein spezielles Vakuum-Subsystem ergänzt, das eine präzise Vakuumregelung während des Prozesses ermöglicht. LAM RESEARCH DV PRIME verfügt über eine Etch/Aschekammer, die eine abgeschirmte Umgebung bietet, um die Prozessgleichförmigkeit sowohl für gasförmige als auch für flüssige Ätz-/Ascheprozesse zu maximieren. Die Ätz-/Aschekammer wurde entwickelt, um Partikel- und Ausgasungskomponenten zu minimieren und Prozessvielfalt zu gewährleisten. Der Vermögenswert, der von einem Industriestärkecomputer mit proprietärer Software gesteuert wird. Der Computer wird von einem 19 "-vollen industriellen Touch-Panel verwaltet, das eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche für Benutzerfreundlichkeit und wiederholbare Prozessergebnisse bietet. Die Verarbeitungsrezepte sind modular aufgebaut und ermöglichen eine Prozessparameteroptimierung für eine Vielzahl von Substraten und Materialien. Das Modell unterstützt sowohl die Batch- als auch die kontinuierliche Verarbeitung und kann mit Softwareoptionen aktualisiert werden, um die Haltbarkeit, den Durchsatz und die Gesamtprozessleistung zu erhöhen. Die Datenmanagementausrüstung ermöglicht die Qualitätssicherung der Datenüberwachung und Datenerfassung. DV PRIME ist ein ideales System für Halbleiterreinräume. Seine geringe Stellfläche und der geringe Stromverbrauch machen es für den Einsatz in halbautonomen Laborumgebungen geeignet. Das Gerät ist so konzipiert, dass es verschiedene Sicherheits- und Umweltstandards (wie ISO, SEMI und OSHA) erfüllt, um die Gesundheit und Sicherheit des Personals und der Umwelt zu gewährleisten.