Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH MCM 203 #9387804 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH MCM 203 ist eine fortschrittliche Ätz-/Ascheausrüstung, die in der Lage ist, gleichzeitig hohe Genauigkeit, präzise und wiederholbare Ergebnisse zu erzeugen. Das System ist auf die Bedürfnisse der Hersteller integrierter Schaltungen (IC) ausgelegt, indem es eine kostengünstige Lösung für Ätz-/Ascheprozesse bietet. Das Gerät ist in einer kleinen Grundfläche von 1630 x 580mm erhältlich und verfügt über eine standardmäßige, maximale Plattengröße von 425 x 425mm. SEZ MCM 203 verwendet eine spezielle multi-chemisch-mechanische Schleifmaschine, um integrierte Schaltungen zu ätzen und zu mustern, mit einem dreistufigen Verfahren mit einer abrasiven Wirkung und einer mechanischen Wäsche, um die Materialschicht zu formen. Die Gleichmäßigkeit des Werkzeugs über die gesamte Plattenoberfläche wird durch die präzise Kontaktregelung, geringe Leistungseinstellungen und kontrollierte Beschleunigung gewährleistet, was zu höheren Durchsätzen und Erträgen führt. Die Anlage ist mit einem korrosionsbeständigen ALD/CVD-Plasma-Pulsmodell zum Dünnschichtätzen und Aschen von Photoresists ausgestattet, während LAM RESEARCH MCM 203 auch die Möglichkeit der Waferreinigung bietet. Das Gerät arbeitet im Vakuum bis zu 6 mbar und beschleunigt bis zu 500 m/s mit einer verschmutzungsregulierbaren Backtemperatur. MCM 203 ist mit einem 9KW luftgekühlten HF-Generatorsystem ausgestattet, das eine schnelle und wiederholbare Waferbildgebung auf verschiedenen Substraten ermöglicht. SEZ/LAM RESEARCH MCM 203 ist ein Top-of-the-Line-Ätzer/Ascher für hohe Serienanforderungen. Das Gerät verfügt über robuste Sicherheitsmerkmale wie automatisierte Feuerlöscher, eine Alarmmaschine und Verriegelungen. Es wird weiter mit hochwertigen Materialien, einschließlich Edelstahl, versilbertem Kupfer und phenolischen Epoxidplatten gebaut. Das Tool wird vollständig von sachkundigen Technikern unterstützt, die im Falle eines Fehlers Bedienungstipps und Fehlerbehebung bereitstellen können.