Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH RST 100-6 #293747989 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH RST 100-6 ist ein vollständig geschlossenes, automatisiertes Batch-Ätzer/Ascher-Gerät mit hoher Kapazität. Es wurde entwickelt, um bis zu zwölf 8-Zoll-Quarzhalter in einer einzigen Charge zu ätzen und zu aschen. Es verfügt über ein isoliertes Gefäßdesign mit einem Fassungsvermögen von bis zu 30 Litern und ein patentiertes Wafer-Ladesystem für eine schnelle, wiederholbare Beladung von Wafern. Das Gerät verfügt zudem über ein High-Flow-Submikron-Ätzverfahren, das sowohl eine hohe Gleichmäßigkeit als auch eine hohe Ätzrate ermöglicht. Der Ätzprozess ist in der Lage, Ätztiefen von bis zu 5 µm in einem einzigen Ansatz zu erreichen. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine ionisierte Reinigungsoption, die eine erhöhte Reinigung der geätzten oder aschierten Wafer ermöglicht und eine Entfernung etwaiger beim Ätzen verbleibender Rückstände gewährleistet. SEZ RST 100-6 verfügt auch über eine Reihe von automatisierten Sicherheitsfunktionen, einschließlich einer internen Druckdichtung, einer internen Heizung, einem externen Temperatursensor und einem Abschaltwerkzeug. Insgesamt ist das Gerät für den Einsatz in der Halbleiterverarbeitung, zum Ätzen und Reinigen großer Flächen elektrischer Substrate ausgelegt.