Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH RST 100-6 #293830231 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH RST 100-6 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die als Metallisierungsprozess für die Herstellung von Halbleiterbauelementen anwendbar ist. Das System eignet sich hervorragend für serienreiche Anwendungen sowie für Fein-, Detail- und Musterdefinitionen. SEZ RST 100-6 ist für die Verarbeitung von Substraten bis 200 mm x 200 mm ausgelegt, mit einer Standardeigenschaftsgröße von 0,35 um, einstellbar bis 0,20 um. Die vorgesehenen hochauflösenden Widerstandswerte erlauben das Ätzen von feinen Linien auf Si, SiO2, Polysilizium, Aluminium und Aluminiumoxid. Die Einheit umfasst eine Quarz- oder Keramiksensibilitätskammer mit einer Quarz- oder Keramik- Cl2/O2, die zum Ätzen lichtempfindlicher Resiststoffe und anderer Materialien verwendet wird. LAM RESEARCH RST 100-6 verwendet einen Niederdruck-Niedertemperaturprozess, der saubere, hochauflösende Linien ohne Materialbefestigung an den Seitenwänden erzeugt. Die Maschine bietet eine präzise Temperatur- und Ozonregelung sowie Gamma-Belichtung der Platte für erhöhten Durchsatz. Das Werkzeug beinhaltet auch einen Nieder- und Niederdruckprozess, der die Gesamtprozesse um bis zu 10% reduzieren kann. Das Asset bietet eine hohe Prozesskonsistenz und kann für Anwendungen verwendet werden, die ein minimales Scumming erfordern. Darüber hinaus bietet das Modell integrierte Visionstechnologie, die eine Echtzeitüberwachung und Inline-Waferauswahl optimaler Wafer mit erhöhter Genauigkeit und reduziertem Abfall ermöglicht. Die Steuerung des RST 100-6 erfolgt über die ICAM-Gerätesoftware (Integrated Computer-Aided Manufacturing), die eine vernetzte Steuerung des Systems von jedem Arbeitsplatz aus ermöglicht. Insgesamt ist SEZ/LAM RESEARCH RST 100-6 Ätzer/Ascher eine hochpräzise, automatisierte Einheit, die für hohe Volumen- und langfristige Produktionsanforderungen konzipiert wurde und die Kosten im Zusammenhang mit dem Metallisierungsprozess senkt.