Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH RST 100 #9161499 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH RST 100 Etcher/Asher ist eine halbautomatische Ascher-/Ätzvorrichtung zum Ätzen und Aschen von Material in einem Produktionslauf. Es ist mit einer 4 Zoll x 8 Zoll Kammer entworfen und kann eine Vielzahl von Materialien verarbeiten, einschließlich Chips, Glas, Kupfer und Leiterplatten. SEZ RST 100 ist in der Lage, bis zu 50 Wafer pro Lauf mit einer Durchlaufzeit von weniger als 5 Minuten pro Wafer zu verarbeiten. LAM RESEARCH RST 100 ist mit einem Hochgeschwindigkeits-, Niederdruck-, ölfreien und nicht kontaminierenden Ätzsystem ausgelegt. Dieses Gerät verfügt über einen PC mit einem LCD-Display zur Steuerung von Ätz- und Aschezeit, Temperatur und Kammerdruck. Die Maschine verfügt auch über einen automatisierten Aufzug, um Wafer vom Ätzer/Ascher zum nächsten Prozess zu übertragen ermöglichen eine schnelle Waferbearbeitung. RST 100 verfügt über eine überlegene Prozessrezeptsteuerung und Verifikationsfunktion für eine verbesserte Prozessüberwachung und -kontrolle. Dieses Werkzeug verfügt über eine erweiterte thermische Profilsteuerung, die eine gleichmäßige Temperaturverteilung in der gesamten Kammer und gleichmäßige Ätz- und Ascheergebnisse ermöglicht. Der Prozesstemperaturbereich liegt zwischen 25 ° C und 525 ° C und Drücke bis 25 Torr. SEZ/LAM RESEARCH RST 100 ist auch mit einer zuverlässigen und einfach zu bedienenden Benutzeroberfläche entworfen, um Wafer einfach separat in Chargen und mit einem Passwortschutz-Asset für Sicherheitsfunktionen zu programmieren. Weitere Merkmale sind eine mehrstufige Vakuumsteuerung, eine programmierbare End-of-Run-Benachrichtigung und ein wiederherstellbares Abschaltmodell; Ermöglichen, den Prozess mit neu konfigurierten Parametern erneut zu starten. Darüber hinaus verfügt SEZ RST 100 über eine hervorragende Sicherheitsausrüstung, einschließlich eines eingebauten Stromausfallschutzes, eines Überdruckschutzsystems, einer chemischen Behältereinheit mit Überdruck- und Übervakuumsensoren und einer Ammoniakerkennungsmaschine. LAM RESEARCH RST 100 ist eine ausgezeichnete Wahl für Ätz- und Ascheprozesse und bietet ein einfach zu bedienendes PC-basiertes Werkzeug mit präziser Temperatur- und Druckkontrolle, zuverlässigem und sicherem Passwortschutz, hervorragenden Sicherheitsfunktionen und automatisierter Waferübertragungsfunktion. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen zur Prozesskontrolle und -prüfung ist RST 100 eine effektive und zuverlässige Lösung zum effizienten Ätzen und Aschen von Materialien.