Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH RST 101 #293652611 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH RST 101 ist eine Hochtemperatur-Ätz-/Ascheausrüstung, die für optimale Ätz- und Ascheergebnisse in einer Vielzahl von Anwendungen entwickelt wurde. Dieses System nutzt die neuesten RF- und DC-Technologien für optimale Leistung und Benutzerfreundlichkeit. Das Gerät ist für die Bearbeitung von bis zu drei Wafern in einer einzigen Kammer ausgelegt und umfasst eine Ladestation, die bis zu drei Substrate gleichzeitig handhaben kann. SEZ RST 101 verfügt über eine segmentierte Heizzone zur präzisen Steuerung von Ätz-/Ascheparametern. Die Temperatur kann zwischen 60 ° C und 110 ° C mit einstellbaren Gasströmungen und -drücken und einstellbarer Reaktionsraumgröße eingestellt werden. Diese Maschine ermöglicht ein hochselektives Ätzen und Aschen mit gleichbleibend hohen Qualitätsergebnissen. LAM RESEARCH RST-101 verfügt zudem über ein einzigartiges „Multi-Process“ Steuerwerkzeug, das die Auswahl von bis zu sieben Ätz-/Aschekombinationen ermöglicht. Mit diesem Asset können Benutzer schnell zwischen verschiedenen Prozessen wechseln, ohne Parameter zurücksetzen oder mit einem neuen Setup neu starten zu müssen. Zusätzlich bietet das Modell dem Benutzer Zugriff auf eine Bibliothek vorprogrammierter Ätz-/Ascheprofile, was den Prozess weiter vereinfacht. Schließlich kommt RST-101 mit einem Softwarepaket, das verwendet werden kann, um Parameter und chemische Auswahl zu überwachen und anzupassen. Für Wafer, die nach dem Ätzen aufgeräumt werden müssen, enthält SEZ/LAM RESEARCH RST-101 einen integrierten Spin-Spinse-Trockner, der mit bis zu 1200 U/min betrieben werden kann. Dieses Gerät bietet auch eine Reihe von Optionen, die eine größere Prozesskontrolle und Flexibilität ermöglichen. LAM RESEARCH RST 101 ist ideal für jede Anwendung, die präzise Ätz-/Ascheergebnisse erfordert. Es ist einfach zu bedienen und liefert hervorragende Ergebnisse. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine Reihe fortschrittlicher Funktionen, die eine präzise Kontrolle über den Prozess bieten und sicherstellen, dass Benutzer die genauen Ergebnisse erhalten, die sie suchen.