Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH RST 101 #293814149 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH RST 101 ist eine spezielle Ätz-/Aschemaschine für Halbleiterwaferbearbeitungsanwendungen. Das System wurde entwickelt, um eine präzise Oberflächenvorbereitung zu bieten, die höchste Qualität Ätz-/Ascheprozesse bietet. Mit einem einfach zu bedienenden, integrierten Design ist SEZ RST 101 eine ideale Wahl für Produktionsbedürfnisse. Kernbestandteil von LAM RESEARCH RST-101 ist das Kammerdesign, das unter den Ätz-/Aschesystemen einzigartig ist. Es verfügt über eine große Heizzone und luftgekühlte Druckaufzugseinheit, die der Einheit überlegene Temperaturempfindlichkeit und Präzision verleiht. Darüber hinaus ermöglicht seine mehrstufige Temperaturregelung das Ätzen oder Aschen feiner Partikel, ohne das Verfahren negativ zu beeinflussen. Darüber hinaus wird LAM RESEARCH RST 101 auch mit einer Turbomolekularpumpe in Katalysatorqualität und einer mechanischen Schrupppumpe geliefert, die eine hohe Pumpgeschwindigkeit und eine präzise Prozesssteuerung bietet. Auf diese Weise können mit einer Reihe von für viele Materialien geeigneten Gasen präzise variable Druckgasätzungen/-aschen ausgeführt werden. Die saubere, hermetische Maschine gewährleistet auch die Schaltungsintegrität bei Ätz-/Ascheprozessen mit einer ultrafeinen Partikelabscheidung von 99,99999%. Für Fertigungsanforderungen bietet SEZ RST-101 eine Vielzahl robuster Funktionen. Es kommt mit einem eingebauten Substrat HF-Generator für Plasmaätz-/Ascheprozesse, einem Endpunktdetektionswerkzeug für die Messtechnik und einem Inertgasschild zur Oxidationsverhinderung beim Ätzen/Aschen. Das Asset bietet zudem höchste Präzision in der Branche mit der Fähigkeit, Aschefunktionen mit einer Genauigkeit von ± 2µm zu ätzen. Um die Sicherheit zu gewährleisten, verfügt RST 101 über ein fortschrittliches Alarmmodell, das zur Überwachung äußerer Bedingungen verwendet werden kann, sowie über eine chemische Sicherheitsausrüstung, die das Be- und Entladen von Schränken überwacht. Die Sicherheit des Systems wird auch mit einem Vakuummonitor und einem Druckaufnehmer erhöht, der Prozessparameter überwacht und den Bediener bei Bedarf alarmiert. Abschließend ist RST-101 eine ideale Ätz-/Ascheeinheit für industrielle Anwendungen. Das fortschrittliche Kammerdesign, präzise Gasätzungen/-aschen mit variablem Druck, robuste Funktionen und integrierte Sicherheitssysteme machen es zu einer attraktiven Option für Produktionsbedürfnisse. Mit seiner beispiellosen Präzision und Prozessfähigkeit unter Reinraumbedingungen ist SEZ/LAM RESEARCH RST-101 ein integraler Bestandteil vieler Halbleiterherstellungsprozesse.