Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH RST 101 #9099677 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH RST 101 ist ein Plasmaätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um Hochleistungsverarbeitung für branchenführende Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) und trockene Ätzanwendungen bereitzustellen. Diese Vorrichtung hat eine maximale Prozesskammergröße von 8 Kubikfuß und hat die Fähigkeit, sowohl kleine als auch große Aspektverhältnisse Wafersubstrate zu verarbeiten. SEZ RST 101 nutzt die neueste Ätz-/Aschetechnologie und ist in der Lage, die höchste Durchsatzrate für seine Größenklasse zu erreichen. Es verfügt über eine effiziente, volumenarme Prozesskammer, ein effizientes Gasströmungssystem und ein einstellbares Prozessfenster. Es wurde entwickelt, um Reaktionsprodukte beim Ätzen vom Substrat weg zu spülen, was eine erhöhte Präzision und Genauigkeit ermöglicht. Eine leistungsstarke Flexibilität wird dem Benutzer mit der Fähigkeit zur Erstellung von individuellen Rezepten für kleine und große Wafersubstrate zur Verfügung gestellt. LAM RESEARCH RST-101 etcher/asher ist mit einem integrierten Diagnosepaket und einer Software ausgestattet, die ein detailliertes Feedback zum Wafer-Ätzprozess liefern soll. Es ist mit einer erweiterten Automatisierungsfunktion konfiguriert, die Lieferung, Einheitlichkeit und andere Aspekte basierend auf den Prozessbedingungen automatisch anpasst. Das System kann angepasst werden, um eine Vielzahl von Radierungen zu betreiben, einschließlich isotropes und anisotropes Ätzen, Richtätzen, Hartmaskieren für Selektivität und spezielles Ätzen für Dünnschichtstapelanwendungen. Zusätzlich kann mit dem Ätzer/Ascher Schutzschichten auf der Oberfläche von Wafern erzeugt werden, um die Oberflächen vor Verunreinigungen zu schützen und die Geräteleistung zu verbessern. RST-101 Ätzer/Ascher ist so konzipiert, dass er in einer Reinraumumgebung mit ISO 5-Klasse betrieben wird. Es verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, die höchste Sicherheitsstandards gewährleisten, wie ein elektronischer Schrank, E-Stop-Tasten, Verriegelungen und Drucküberwachung der Prozesskammer. Das Gerät verfügt auch über ein Laserquellen-Steuerungssystem, das verwendet werden kann, um die Leistung und Dauer des Lasers genau zu steuern, um ein konsistentes Produkt ohne Qualitätsschwankungen zu gewährleisten. Zusammenfassend ist SEZ/My SEZ RST-101 etcher/asher ein leistungsstarkes, zuverlässiges Gerät, mit dem kleine und große Seitenverhältnisscheiben mit Präzision und Genauigkeit geätzt und geascht werden können. Es ist mit den neuesten Funktionen ausgestattet, um ein hohes Maß an Sicherheit zu gewährleisten, sowie eine fortschrittliche Automatisierungsfunktion, die Lieferung, Einheitlichkeit und andere Aspekte auf der Grundlage der Prozessbedingungen anpasst. Der Ätzer/Ascher hat auch die Fähigkeit, kundenspezifische Rezepte zu erstellen, sowie Schutzschichten auf der Oberfläche von Wafern zu erstellen. Es ist so konfiguriert, dass es in einer Reinraumumgebung mit ISO 5-Klasse betrieben wird. Mit seinen leistungsstarken Fähigkeiten ist LAM RESEARCH/My LAM RESEARCH RST 101 Ätzer/Ascher ein ideales Gerät für Anwendungen in der Halbleiterindustrie.