Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH RST 201-8/6 #9399478 zu verkaufen

SEZ RST 201-8/6 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine, die entwickelt wurde, um eine Vielzahl von Ätz-, Asche- und Reinigungsprozessen durchzuführen. Dieses System ist ideal für Anwendungen, die hohe Präzision und Wiederholbarkeit erfordern. Die RST201-8/6 umfasst eine Vakuumkammer, eine Primärquelle für Prozessgas, eine Steuereinheit für die Vakuumkammer, einen Regler für die Hauptquelle und eine Reihe von Sputterquellen für hochselektives Ätzen. Die Vakuummaschine ist ein integraler Bestandteil der Gesamtleistung von LAM RESEARCH RST201-8/6. Das Werkzeug ist in der Lage, ein Betriebvakuumniveau von 10-4 Torr bei einem maximalen Druck von 0,6 Torr zu halten. Dadurch wird sichergestellt, dass die Prozessbedingungen im Laufe der Zeit konsistent bleiben und eine bessere Leistung und Wiederholbarkeit der Prozesse gewährleistet ist. Die Primärgasquelle besteht aus vier Gaseinlässen, die die Einführung von SiH4, CHF3, O2 oder N2 ermöglichen. Dies gibt dem Asset die Möglichkeit, Materialien in einer Vielzahl von Prozessen zu ätzen, zu reinigen oder zu reinigen. Um ein vollständiges Leistungsspektrum zu gewährleisten, verfügt das RST201-8/6 über eine Reihe von zwölf Sputterquellen, die in der Lage sind, eine gleichmäßige Leistung für einen weiten Bereich des Substrats zu liefern. Das Steuermodell des RST201-8/6 basiert auf Labview Software und Programmierung. Diese Programmierung ermöglicht es dem Gerät, Prozessparameter und andere Einstellungen genau zu steuern, um die bestmöglichen Prozessergebnisse zu erzielen. Die Programmierung ermöglicht auch die vollautomatische Inbetriebnahme und Abschaltung. Die RST201-8/6 von SEZ/LAM RESEARCH ist ein sehr vielseitiges Ätz-/Aschersystem, das sich ideal für eine Vielzahl von Anwendungen eignet. Die Vakuumeinheit bietet eine hohe Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit, während die Steuerungsmaschine die Feinabstimmung von Prozessparametern ermöglicht, um die optimale Leistung zu erzielen. In Kombination mit der Primärgasquelle und den Sputterquellen bietet dieses Tool die beste Ätz- und Reinigungsleistung, die es in der Branche gibt.