Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH RST 201 #293595864 zu verkaufen
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SEZ/LAM RESEARCH RST 201 ist eine automatisierte, hochpräzise Ätz-/Aschermaschine für den Einsatz in Forschung und Produktion. Das Gerät verwendet fortschrittliche Ätz- und Verarbeitungstechnologien, um eine kontrollierte Substratentfernung zu ermöglichen, was zu einer qualitativ hochwertigen Abscheidung von leitfähigen oder Halbleitermaterialien auf einer Vielzahl von Wafertypen führt. Der zweistufige Prozess beginnt mit einem Sauerstoffplasmaätzsystem, das zwei unabhängige elektromagnetisch geschwenkte 3-Zoll-Ätzdüsen und einen lasergeführten Plasmastrahl verwendet. Dieser Schritt ätzt unerwünschtes Material von der Substratoberfläche und bereitet es zur Abscheidung vor. Das einzigartige, branchenführende Merkmal von SEZ RST 201 ist seine Dual-Beam-Konfiguration, die je nach Endanwendung sowohl isotropes (gleich allen Winkeln) Ätzen als auch Richtätzen ermöglicht. Als nächstes verfügt LAM RESEARCH RST 201 über SEZ 800 Asher, das leitfähiges oder Halbleitermaterial auf der Substratoberfläche abscheidet. Das Gerät verfügt über eine ausgeklügelte Bordsoftware zur Steuerung der Abscheideparameter sowie drei unabhängige lasergeführte Vakuumdüsen, die eine präzise Abscheidung ermöglichen. Schließlich beinhaltet die RST 201 auch eine Maschine zur Handhabung und Prozessüberwachung. Die integrierte Workstation ist mit vollen Sicherheitsverriegelungen, elektronischen Überwachungssystemen und Online De-Consolidation and Diagnostic Modules (ODDs) ausgestattet, die eine automatisierte Wartung und Fehlerbehebung ermöglichen. Insgesamt ist SEZ/LAM RESEARCH RST 201 ein leistungsstarkes, hochpräzises Ätz-/Ascherwerkzeug, das für zuverlässige, reproduzierbare Ergebnisse über eine Vielzahl von Materialien und Substraten entwickelt wurde. Mit seiner Dual-Beam-Konfiguration und variabler Verarbeitungssteuerung ist es eine zuverlässige Wahl für Anwender, die nach einem High-End-Ätz- und Erzeugungsgut suchen.
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