Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH RST 201 #293600300 zu verkaufen

ID: 293600300
Spin etcher (4) Vertical ring chambers Single wafer process for front and back side Dispenser system CDS System DIW Arm N2 Arm Load system: (2) Open cassettes, 8" Single arm robot with AL vacuum end effector (2) ECO Swivel levers: Front / Back side wafer handling Standard chuck, 8" Vacuum end effector LAUDA Heater exchanger Temperature: 65°C Power: 2.3 kW Dry N2 monitor Suck back system Chemical drain tank PVDF Tube / Tank material PD Box Speed motor CDS With PC Front side control table PC and motor controller Cables Offline monitor Heat exchanger temperature: Warm / Fault: 65 ±2°C Warm / Fault: 65 ±3°C Medium X Flow: Medium 3 Flow (SLM/MN): (HF: CH3COOH 505 LPM) Safety: EMO Type: Turn to release Label: Emergency off EMO Button guard ring Water leak detector DI Rinse flow: DIW (SLM/MN) N2 Dry flow: (SLM/MN) Chuck N2 Flow (SLM/MN): 275 ±25 Chuck spin speed (RPM): During process step: 1000 ±100 Clean process step DI: 1000 ±100 Clean process step N2: 2000 ±100 Chuck pin, P/N: 2006830 ECO Pin, P/N: 2010343 ECO Motor, P/N: 2006775 Pump: Return: Nippon pillar (Bellow pump) Supply: Nippon pillar (Bellow pump with accumulator) Suck back valve: Filter Chuck motor hauser 63A Line amperage 400 LPM Glass flow MFM Flow warm / Fault Frequency: 50 Hz Does not include: Wafer defect system: Glass Chemical filter Touch screen monitor Power supply: 200-208 V, 4 W, 3 Phase.
SEZ/LAM RESEARCH RST 201 ist eine Ätz-/Aschermaschine, die den anspruchsvollen Anforderungen moderner Fertigungsprozesse gerecht wird. Es wurde entwickelt, um eine überlegene Prozesssteuerung und Qualitätssicherung in einer Vielzahl von Halbleiteranwendungen bereitzustellen. Das System verfügt über Rapid Thermal Processing (RTP) -Technologie, um verschiedene Materialien schnell und präzise zu ätzen/as oder zu plattieren. Seine vollständig computergesteuerte Steuereinheit und Präzisionsbewegungssteuerungen ermöglichen eine schnelle und einfache Einrichtung und bieten gleichzeitig konsistente und zuverlässige Ergebnisse. Die Maschine verfügt auch über eine leichte Lastverriegelungskammer, die optimalen Probenschutz und Wiederholbarkeit gewährleistet. SEZ RST 201 ist in der Lage, hochpräzise Ätzen und Aschen in nassen und trockenen Formaten. Das einzigartige physische Design und die RTP-Technologie bieten höchste Genauigkeit und schnellste Bearbeitungszeiten. Darüber hinaus ermöglicht die vielseitige Bearbeitungskammer des Werkzeugs eine Vielzahl von Probengrößen und -formen, ohne die Prozessgenauigkeit zu beeinträchtigen. LAM RESEARCH RST 201 wurde auch für maximale Effizienz entwickelt und nutzt die proprietären Prozessrezepte von LAM für optimale Leistung. RST 201 ist mit einer Reihe von Sicherheitsfunktionen konzipiert, um Benutzer vor gefährlichen Bedingungen zu schützen und die Sicherheit im Arbeitsbereich zu maximieren. Die Kammer verfügt über eine integrierte Sicherheitsverriegelung, um die Sicherheit der Arbeitnehmer zu gewährleisten, und das Gerät ist mit automatisierten Sicherheitssystemen ausgestattet, die die Kammerbedingungen überwachen und Maßnahmen ergreifen, um unsichere Bedingungen zu behindern. Darüber hinaus ist das Modell mit korrosionsbeständigen Materialien konstruiert und soll hohen Temperaturen und Verunreinigungen standhalten. SEZ/LAM RESEARCH RST 201 verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Funktionen zur Prozessüberwachung und Datenerfassung. Ein dediziertes Computer- und Softwarepaket ermöglicht es den Betreibern, den Prozess in Echtzeit zu überwachen und die Geräte fernzusteuern. Darüber hinaus beinhaltet es automatische Rezeptsteuerung und Prozessprotokollierung für eine umfassende Rückverfolgbarkeit. Dies hilft, Wiederholbarkeit und konsistente Leistung zu gewährleisten. Insgesamt ist SEZ RST 201 ein außergewöhnlich zuverlässiges und präzises Ätz-/Aschersystem, das sich ideal für eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen eignet. Es bietet schnelle und präzise Ätz-, Beschichtungs- und Ascheprozesse und ist mit einer Reihe von Funktionen konzipiert, um Sicherheit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Seine hochwertige Konstruktion und modernste Programmierung sind so gebaut, dass sie jahrelanger Nutzung standhalten und langfristige Leistung, Produktivität und Kosteneinsparungen bieten.
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