Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH RST 201 #293600300 zu verkaufen
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ID: 293600300
Spin etcher
(4) Vertical ring chambers
Single wafer process for front and back side
Dispenser system
CDS System
DIW Arm
N2 Arm
Load system: (2) Open cassettes, 8"
Single arm robot with AL vacuum end effector
(2) ECO Swivel levers: Front / Back side wafer handling
Standard chuck, 8"
Vacuum end effector
LAUDA Heater exchanger
Temperature: 65°C
Power: 2.3 kW
Dry N2 monitor
Suck back system
Chemical drain tank
PVDF Tube / Tank material
PD Box
Speed motor
CDS With PC
Front side control table
PC and motor controller
Cables
Offline monitor
Heat exchanger temperature:
Warm / Fault: 65 ±2°C
Warm / Fault: 65 ±3°C
Medium X Flow:
Medium 3 Flow (SLM/MN): (HF: CH3COOH 505 LPM)
Safety:
EMO Type: Turn to release
Label: Emergency off
EMO Button guard ring
Water leak detector
DI Rinse flow: DIW (SLM/MN)
N2 Dry flow: (SLM/MN)
Chuck N2 Flow (SLM/MN): 275 ±25
Chuck spin speed (RPM):
During process step: 1000 ±100
Clean process step DI: 1000 ±100
Clean process step N2: 2000 ±100
Chuck pin, P/N: 2006830
ECO Pin, P/N: 2010343
ECO Motor, P/N: 2006775
Pump:
Return: Nippon pillar (Bellow pump)
Supply: Nippon pillar (Bellow pump with accumulator)
Suck back valve:
Filter
Chuck motor hauser
63A Line amperage
400 LPM Glass flow MFM Flow warm / Fault
Frequency: 50 Hz
Does not include:
Wafer defect system: Glass
Chemical filter
Touch screen monitor
Power supply: 200-208 V, 4 W, 3 Phase.
SEZ/LAM RESEARCH RST 201 ist eine Ätz-/Aschermaschine, die den anspruchsvollen Anforderungen moderner Fertigungsprozesse gerecht wird. Es wurde entwickelt, um eine überlegene Prozesssteuerung und Qualitätssicherung in einer Vielzahl von Halbleiteranwendungen bereitzustellen. Das System verfügt über Rapid Thermal Processing (RTP) -Technologie, um verschiedene Materialien schnell und präzise zu ätzen/as oder zu plattieren. Seine vollständig computergesteuerte Steuereinheit und Präzisionsbewegungssteuerungen ermöglichen eine schnelle und einfache Einrichtung und bieten gleichzeitig konsistente und zuverlässige Ergebnisse. Die Maschine verfügt auch über eine leichte Lastverriegelungskammer, die optimalen Probenschutz und Wiederholbarkeit gewährleistet. SEZ RST 201 ist in der Lage, hochpräzise Ätzen und Aschen in nassen und trockenen Formaten. Das einzigartige physische Design und die RTP-Technologie bieten höchste Genauigkeit und schnellste Bearbeitungszeiten. Darüber hinaus ermöglicht die vielseitige Bearbeitungskammer des Werkzeugs eine Vielzahl von Probengrößen und -formen, ohne die Prozessgenauigkeit zu beeinträchtigen. LAM RESEARCH RST 201 wurde auch für maximale Effizienz entwickelt und nutzt die proprietären Prozessrezepte von LAM für optimale Leistung. RST 201 ist mit einer Reihe von Sicherheitsfunktionen konzipiert, um Benutzer vor gefährlichen Bedingungen zu schützen und die Sicherheit im Arbeitsbereich zu maximieren. Die Kammer verfügt über eine integrierte Sicherheitsverriegelung, um die Sicherheit der Arbeitnehmer zu gewährleisten, und das Gerät ist mit automatisierten Sicherheitssystemen ausgestattet, die die Kammerbedingungen überwachen und Maßnahmen ergreifen, um unsichere Bedingungen zu behindern. Darüber hinaus ist das Modell mit korrosionsbeständigen Materialien konstruiert und soll hohen Temperaturen und Verunreinigungen standhalten. SEZ/LAM RESEARCH RST 201 verfügt über eine Reihe fortschrittlicher Funktionen zur Prozessüberwachung und Datenerfassung. Ein dediziertes Computer- und Softwarepaket ermöglicht es den Betreibern, den Prozess in Echtzeit zu überwachen und die Geräte fernzusteuern. Darüber hinaus beinhaltet es automatische Rezeptsteuerung und Prozessprotokollierung für eine umfassende Rückverfolgbarkeit. Dies hilft, Wiederholbarkeit und konsistente Leistung zu gewährleisten. Insgesamt ist SEZ RST 201 ein außergewöhnlich zuverlässiges und präzises Ätz-/Aschersystem, das sich ideal für eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen eignet. Es bietet schnelle und präzise Ätz-, Beschichtungs- und Ascheprozesse und ist mit einer Reihe von Funktionen konzipiert, um Sicherheit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Seine hochwertige Konstruktion und modernste Programmierung sind so gebaut, dass sie jahrelanger Nutzung standhalten und langfristige Leistung, Produktivität und Kosteneinsparungen bieten.
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