Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH RST 201 #9228278 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH RST 201 Ätzer/Ascher ist eine automatisierte Vakuumausrüstung, die entwickelt wurde, um Prozessschritte beim Ätzen, Würfeln und Scribing von Halbleiterscheiben durchzuführen. Das System SEZ RST 201 verwendet eine nachgeschaltete Plasmaquelle, um eine breite Palette von Materialien mit hoher Zuverlässigkeit, Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit verarbeiten zu können. Die Prozesskammer ist aus Edelstahl gefertigt und hat ein Innenvolumen von 8 Kubikfuß. Der Umgebungseinheitendruck wird durch zwei 300-sccm-Turbomolekularpumpen (TMP) auf 10-6 Torr gehalten, die über die Pumpeneingänge eine Druckdifferenz erzeugen. LAM RESEARCH RST 201 umfasst auch eine hybride Lastschloßmaschine, die in der Lage ist, die Lastschloßkammer schnell zu evakuieren und die Hauptpumpe beim Be- und Entladen von Material zu umgehen. Darüber hinaus umfasst das Tool auch einen chemischen Quelleninjektor, vier anisotrope Ätzmodule und einen Inline-Photodiodenmonitor, der eine Echtzeit-Überwachung der Rauheit von Waferätzen ermöglicht. Die auf der Anlage RST 201 erreichbaren Prozesse umfassen Oxidoxidetch und -band, Siliziumoxidstreifen, chemisch-mechanische Politur, tiefenreaktive Ionenätzung (DRIE), Würfeln, Abklappen und Kritzeln. Durch die Verwendung einer HF-Plasmaquelle ist das Modell in der Lage, eine Vielzahl von Materialien mit hoher Präzision zu ätzen und gleichzeitig saubere und hochgleichmäßige Seitenwände zu liefern. Der chemische Quelleninjektor hilft, chemische Vorstufen für den Ätzprozess zu liefern, während die vier anisotropen Ätzmodule die notwendige seitliche Überätzung bieten, um glatte und abgewinkelte Profile zu erzeugen. SEZ/LAM RESEARCH RST 201 ist mit einer Vielzahl von Wafergrößen und -materialien kompatibel und ist somit ein ideales Werkzeug zum Ätzen und Bearbeiten von Halbleiterscheiben. Das Gerät verfügt zudem über eine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI), die die Einrichtung und Bedienung des Systems vereinfacht. Das Gerät ist CE-zertifiziert und bietet hervorragende Präzision, Einheitlichkeit und Wiederholbarkeit sowie geringe Werkzeugausfallzeiten.