Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH SP 102 #9312906 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH SP 102 ist ein vielseitiger Plasmaätzer/Ascher mit zahlreichen Anwendungen in verschiedenen Branchen. Es ist speziell für den Umgang mit einer Vielzahl von Substraten konzipiert und kann für verschiedene Prozesse angepasst werden, einschließlich Ätzen, Aschen und Sputterabscheidung. SEZ SP 102 verfügt über eine Vakuumkammer mit einer Kapazität von bis zu 400 Litern und kann mit bis zu vier Prozessanschlüssen ausgestattet werden. Die Kammer ist dann mit einer Vakuumpumpe, einem Massenstromregler, einer Turbomolekularpumpe und einer variablen Abgasanlage verbunden. Dies bietet LAM RESEARCH SP 102 die Fähigkeit, den höchsten Anforderungen moderner Ätz- und Ascheprozesse gerecht zu werden. Das Steuerungssystem von SP 102 ermöglicht es, eine Vielzahl von voreingestellten Rezepten zu erstellen, die auf den jeweiligen Prozess zugeschnitten sind. Diese fein abgestimmte Einheit ermöglicht präzises Ätzen/Aschen mit präziser Takt- und Temperaturregelung. Die Prozessgase werden mit dem erforderlichen Massendurchsatz direkt in die Kammer eingespeist und es entsteht ein sauberer, zuverlässiger Prozess. Alle Verarbeitungsparameter können mit dem Frontplatten-Controller, wie der HF/DC-Generator Ausgangsleistung, dem Prozessdruck und der HF/DC-Generatorfrequenz eingestellt werden. SEZ/LAM RESEARCH SP 102 ist mit einem Viewport zur Überwachung von Kammerphänomenen ausgestattet und alle notwendigen Schutzsysteme, einschließlich Funkenzähler und Endpunktüberwachung, sind in die Maschine integriert. Darüber hinaus bietet SEZ SP 102 eine Vielzahl von Funktionen zur Maximierung von Durchsatz und Ertrag. So ermöglicht ein fortschrittliches In-situ-Reinigungswerkzeug die effiziente Entfernung von Prozessrückständen und ein automatisches Substrathandling die Verarbeitung mehrerer Chargen mit minimalen Stillstandszeiten. Abschließend ist LAM RESEARCH SP 102 ein leistungsfähiges und flexibles Plasmaätz-/Aschematerial, das Anwendern die Möglichkeit bietet, mit einer Vielzahl von Substraten mit präziser Zeit- und Temperaturregelung umzugehen. Es verfügt über zahlreiche Funktionen, die den Durchsatz und die Ausbeute maximieren, so dass es eine ideale Wahl für alle Arten von Ätz-/Ascheanwendungen ist.