Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH SP 201 #9384204 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH SP 201 ist ein Ätzer/Ascher, der auf höchste Genauigkeit beim mikroskopischen Ätzen ausgelegt ist. Als eigenständiges Werkzeug oder Teil eines größeren Systems einsetzbar, ist SEZ SP 201 in der Lage, zu ätzen, zu aschen, Dünnschichtabscheidung und mehr. Es ist eine zuverlässige und präzise Maschine, die sich für die unterschiedlichsten Forschungs- und Industrieaufgaben eignet. LAM RESEARCH SP201 verfügt über eine doppelte Substratverarbeitungskammer, mit der zwei Substrate gleichzeitig geätzt werden können. Diese Doppelkammer ist für einen maximalen Durchsatz optimiert, wobei beide Substratrezepte unabhängig verarbeitet werden. Die Kammer ist mit Quarz-Hitzeschilden ausgestattet, die die Substrat-DNA vor Wärme schützen, die während des Ätzprozesses entsteht. Die Quarzschilde sorgen zudem für eine präzise Temperaturregelung. Der Ätzer/Ascher verfügt über ein fortschrittliches Softwaresystem, das die verschiedenen Parameter wie Ätzstrom, Spannung, Substrattemperatur, Partialdruck von O2 und H2, Substratdicke und vieles mehr steuert. Dadurch kann der Anwender den Ätzer/Ascher für verschiedene anspruchsvolle Ätztechniken sowie die Abscheidung verschiedener metallischer und dielektrischer Dünnschichten nutzen. SP201 hat eine Auflösung von 0,5 μ m und eine Wiederholbarkeit von 0,5 μ m. Dies sorgt für ein extrem präzises Ätzen und Aschen und macht SEZ SP201 ideal für Anwendungen, die höchste Genauigkeit erfordern. SP 201 ist mit zwei unterschiedlichen Ätzverfahren ausgestattet, mit denen eine Vielzahl von Substratmaterialien verarbeitet werden kann. Trockenätzen wird verwendet, um Oxid, Nitrid, organische und die meisten Metalle zu ätzen, während Naßätzen verwendet wird, um dickere Filme aus polykristallinen Metallen zu entfernen. LAM RESEARCH SP 201 verfügt auch über ein Anti-Stiction-Gerät, das hilft, Anti-Stiction-Defekte während des Ätzprozesses zu reduzieren. SEZ/LAM RESEARCH SP201 ist ein Ätzer/Ascher, der mit hoher Präzision und hoher Wiederholbarkeit ausgestattet ist. Es eignet sich hervorragend für verschiedene Arten von Ätz- und Dünnschichtabscheidungsaufgaben mit höchster Genauigkeit. Der Ätzer/Ascher kann schnell mehrere Substrate gleichzeitig verarbeiten und ist damit ein effektives und effizientes Werkzeug für die Materialforschung und industrielle Anwendungen.