Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH SP 203 #9207192 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH SP 203 ist ein vollautomatisierter Plasmaätzer/Ascher, der für Forschungs- und Entwicklungszwecke entwickelt wurde. Es nutzt die neueste Technologie, um qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erzielen. SEZ SP 203 verfügt über eine integrierte Vakuumisoliereinrichtung für maximale Prozesssteuerung sowie eine Reihe automatisierter Steuerungen für zuverlässigen Betrieb und Prozessrezeptsteuerparameter. LAM RESEARCH SP 203 verfügt über drei unabhängige kontaktlose Elektrodensysteme, die eine unabhängige Steuerung von Gas, Leistung und Vorspannung ermöglichen, um die Plasmaeigenschaften zu modifizieren. Es hat einen maximalen Arbeitsdruck von 600mTorr und Betriebsdruckbereich von 0,15 - 110mTorr und eignet sich somit für eine Vielzahl von Prozessgasen wie NF3, CHF3, NH3, AR und CBr4. Darüber hinaus verfügt es über eine optimierte Lichtbogenentladungsquelle für gleichmäßigen Plasmafokus und -vertrauen. SP 203 zeigt auch einen Gastgeber anderer Eigenschaften für die Bequemlichkeit und Zuverlässigkeit, wie eine Substratoberfläche Temperaturüberwachungssystem, ein eingebauter Verschluss, um den eingehenden Balken während eines Ätzens und eine robuste kühl werdende Einheit für die Beispieltemperaturkontrolle zu blockieren. Es verfügt über eine integrierte sekundäre Isolationskammer, mit der hochpräzise, hoch kontrollierte Ätz- und Ätz-/Strippprozesse erzeugt werden können, indem Kreuzkontaminationen zwischen Proben eliminiert werden. Zur Sicherstellung der Qualitätsätzung verfügt SEZ/LAM RESEARCH SP 203 über eine umfassende elektrische Erdungsmaschine, eine optische Emissionsüberwachung zur Gewährleistung der Gleichmäßigkeit der Leistung sowie ein HF-Austastwerkzeug. Um die Prozessintegrität zu erhalten, kommt SEZ SP 203 mit einer Vielzahl von Rezeptsteuerungsfunktionen und erweiterten Sicherheitsfunktionen. Zur Bequemlichkeit verfügt es über eine grafische Benutzeroberfläche, die eine einfache Programmierung und Konfiguration des Assets ermöglicht. Abschließend ist LAM RESEARCH SP 203 ein hochentwickelter und zuverlässiger Ätzer/Ascher mit dem neuesten technologischen Fortschritt. Seine breite Palette von Funktionen ermöglicht es ihm, qualitativ hochwertige Ergebnisse mit Zuverlässigkeit, Komfort und Prozessintegrität zu produzieren.