Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH SP 203 #9407543 zu verkaufen

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ID: 9407543
Wafergröße: 8"
Spin etcher, 8" Front UI ULPA Filter Ionizer system (2) Load ports (Left and Right): 8 Load-port adapters: 8 Chuck Size (Left and Right): 8" Chemical module1: DI SMIF Non-functional Power Distribution Box (PDB) Cables Does not include: Rear UI Flip module End point detection system HORIBA Concentration monitor (HF Monitor) (2) Heat exchangers Wafer ID Reader RFID Reader AGV Ozone module Transformer.
SEZ/LAM RESEARCH SP 203 ist eine hochpräzise Ätz-/Aschermaschine. Es ist Teil der Research Series von SEZ/LAM und soll die hohen Standards erfüllen, die für fortgeschrittene Forschungs- und Entwicklungsanwendungen erforderlich sind. SEZ SP 203 wurde mit einem vielseitigen Mehrzwecksystem entwickelt, das eine vollständige Kontrolle der Ätz- und Ascheprozesse ermöglicht. Das Gerät hat eine Auswahl von vier Ätz- oder Aschekonfigurationen mit einer Vielzahl von Förder- und Gaseinlasssystemen. Es ist in der Lage, mit einer Reihe von Materialien und Substraten, ein- oder mehrlagigen, parallelen oder senkrechten Oberflächen und mit vielen verschiedenen Dicken zu ätzen oder zu aschen. LAM RESEARCH SP 203 verfügt über eine breite Palette von Steuerungsoptionen, einschließlich eines präzisen digitalen Auslesens, mit dem die gewünschten Parameter für das Ätzen oder Aschen eingestellt werden können. Es verfügt über ein unabhängiges Gasmessgerät zur Steuerung von Gasdurchsatz und -druck sowie eine einstellbare Temperatureinstellung zur Steuerung von Ätzrate, Substrattemperatur und Oberflächenreinheit. SP 203 verwendet eine PC-basierte Software zur Programmierung einzelner Ätz- oder Ascheprozesse und zur Erstellung von Zyklusrezepten. Die Software verfügt über eine intuitive grafische Oberfläche zum Einrichten von Prozessen, mit einfach zu bedienenden Menüs und Bedienelementen für eine einfache Bedienung. SEZ/LAM RESEARCH SP 203 verfügt auch über eine eingebaute Sicherheits- und Überwachungsmaschine, um optimale Bedingungen beim Ätzen oder Aschen zu gewährleisten. Es verwendet fortschrittliche Sensortechnologie, um mögliche gefährliche Ereignisse zu erkennen und den Ätz-/Aschevorgang automatisch auszuschalten. Es verfügt auch über ein Alarmwerkzeug, das eine Echtzeitüberwachung des Ätz-/Ascheprozesses ermöglicht. SEZ SP 203 hat ein benutzerfreundliches Design mit hoher Leistung im Auge. Sein fortschrittliches Design sorgt für Genauigkeit, Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit bei allen Ätz- oder Ascheprozessen. Seine hochwertigen Teile bieten überlegene Leistung und Zuverlässigkeit und bieten langfristige Haltbarkeit. Insgesamt ist LAM RESEARCH SP 203 eine innovative und vielseitige Lösung für Ätz- und Ascheanwendungen. Seine fortschrittlichen Eigenschaften und Design machen es zu einer idealen Wahl für Forschung, Entwicklung und Produktion. SP 203 bietet hohe Präzision, Genauigkeit und Wiederholbarkeit, was es zu einem idealen Werkzeug für jede Labor- oder Produktionsumgebung macht.
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