Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH SP 223 #293655016 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 293655016
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Spin processor, 8"
(2) Chambers (P223)
2001 vintage.
SEZ/LAM RESEARCH SP 223 ist ein anspruchsvoller Ätzer/Ascher, der in der Elektronikindustrie zum Ätzen und Aschen von hochauflösenden Photolithographiemasken und Wafern eingesetzt wird. Es ist eine parallele Chargenverarbeitungsanlage, die bis zu vier Wafer gleichzeitig verarbeiten kann. SEZ SP 223 verfügt über einen aktiven/inaktiven Schalter, mit dem der Benutzer zwischen Prozessen wechseln kann. Der Ätzer/Ascher hat zwei Kammern mit jeweils einer eigenen Plasmaquelle, Gasfördersystem und Ätz-/Aschekammer. Die Kammern sind mit einem Plasmaprozessor verbunden, der den Druck, den Gasstrom, die HF-Generatorfrequenz und andere Parameter des Prozesses steuert. Die Prozessparameter werden aus vordefinierten Rezepten abgeleitet, die im Speicher der Einheit gespeichert sind. LAM RESEARCH SP 223 Maschine ist entworfen, um Photomasken zu einer Auflösung von weniger als 1 Mikron zu ätzen/aschen. Hohe Auflösungen werden durch die aktive Kammerkontrolle des Werkzeugs erreicht, die eine präzise kontrollierte Umgebung aufrechterhält und ein genaues Ätzen/Aschen gewährleistet. Darüber hinaus bietet das Modell zwei verschiedene Rezepte, mit denen eine einzelne Maske in einem Prozess geätzt werden kann. Die Ausrüstung verfügt auch über eingebaute Sicherheitsvorkehrungen zur Minimierung von Ätz-/Ascheschäden. Die Plasmaabschirmungen des Systems, die Abgabeeinheit mit geringem Volumen und die Unfallverhütungsmaschine sind so konzipiert, dass sie die Maske oder den Wafer vor Überätzen, der Exposition gegenüber Wasserstoff oder anderen Schadstoffen und anderen potenziell gefährlichen Risiken schützen. SP 223 ist ein robuster, zuverlässiger Ätzer/Ascher, der präzise Steuerung und hohe Leistung zu erschwinglichen Kosten bietet. Es ist die perfekte Wahl für alle, die eine konsistente Möglichkeit benötigen, ihre Fotolithographie-Masken und Wafer genau und schnell zu verarbeiten.
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