Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH SP 223 #293775027 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH SP 223 ist ein Ätzer/Ascher, der High-End-Technik und innovative Technologien kombiniert, um die Anforderungen von Waferanwendungen optimal zu erfüllen. SEZ SP 223 ist eine flexible, umfassende Ausrüstung mit Prozessmodulen, die erweiterte Primaten- und Systemsteuerungsfunktionen bieten. Das Gerät ist vollständig konfigurierbar von 8 bis 30 Zoll Bearbeitungsfläche mit bis zu 200 mm für Gleichmäßigkeitsverteilung, 8 Präzisionsstufen und 600 mm Antriebskapazität. Dies macht es für größere Wafer und PDKs sowie einfache Masken und Substrate geeignet. LAM RESEARCH SP 223 ist mit verschiedenen Prozessmodulen ausgestattet, die auf eine Vielzahl von Ätz-/Ascheranwendungen zugeschnitten sind. Das RIE-Modul bietet eine präzise Steuerung von Reaktanden und Gasen und liefert einheitliche Ätzfunktionen über weite Waferanwendungen. Heißes Plasma RIE ermöglicht eine sehr große Auswahl an gaschemischen Mischungen, wodurch es für komplexere Materialien wie Nitride, Oxide und Polymere geeignet ist. Das fortschrittliche PDL-Modul verfügt über ein Feature-Set, das auch bei Niedertemperatur- oder Niedervakuum-Array-Prozessen auf extrem niedrige Plasmaschäden zugeschnitten ist. Die schnellen Wafer-Features ermöglichen auch optimierte Durchsätze. Die Maschine verfügt zudem über robuste Prozesswerkzeuge für die automatisierte Wafer-Abbildung. Die fortschrittliche Waferkarte ermöglicht die Optimierung der Gleichmäßigkeit mit automatischen Rückkopplungssteuerungssystemen. Das Tool bietet zudem erstklassige Wafer-Sauberkeit für höchste Erträge und Zuverlässigkeit. Die rezeptgesteuerte Schnittstelle bietet Echtzeit-Prozessentwicklungstools wie den Process Generator für interaktive Entwurfs-, Programmier- und Ladeprozesse. SP 223 beinhaltet auch eine integrierte Echtzeit-Erkennungsanlage, die für die Überwachung des gesamten Prozesses ausgelegt ist. SEZ/LAM RESEARCH SP 223 ist mit einem integrierten Kammerdesign ausgestattet, das Partikel und molekulare Kontamination minimiert. Das Hochvakuum und die Premium-Turbomolekularpumpen sorgen für ultimative Prozesskontrolle. Das Paket enthält auch fortschrittliche Hochleistungs-Gasschränke, die beispiellose Gasströmungsbedingungen für eine einfache Prozessintegration erreichen können. Insgesamt ist SEZ SP 223 ein Ätzer/Ascher, der die neuesten motorisierten Präzisionsstufen, erweiterte Primaten- und Modellsteuerungsfunktionen, erstklassige Wafer-Sauberkeit und modernste Automatisierungstechnologien kombiniert. Es eignet sich für eine breite Palette von Ätz-/Ascheranwendungen und ist ideal für diejenigen, die eine hochpräzise Steuerung und wiederholbare Prozessleistung suchen.