Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH SP 304 #293768125 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH SP 304 ist ein fortschrittlicher Plasmaätzer/Ascher, der zur Erzeugung von Plasmabildern mit hoher Ionisationstiefe entwickelt wurde. Es ist über ein Elektronenzyklotronresonanz (ECR) -Plasma über einen großen Temperaturbereich ätzbar. Sie besteht aus zwei Kammern: der Elektronenzyklotronresonanz (ECR) -Mikromaschinenkammer und der elektrochemischen Ätzkammer. Die ECR-Kammer hat ein Vakuum von etwa 1 x 10-6 Torr und ist in der Lage, ein Plasma mit sehr hoher Ionisationstiefe zu erreichen. Dies macht es ideal für die Herstellung von hochauflösenden Plasmabildern, beispielsweise in der Halbleiterindustrie. Die elektrochemische Ätzkammer ist für das Ätzen von Materialien bei höheren Temperaturen als die ECR-Kammer gebaut, wodurch es für das Ätzen schwieriger zu ätzende Materialien wie Saphire oder Keramik geeignet ist. Dies geschieht mit einer Elektrolytlösung, die Fluoridionen enthält, die das Probenmaterial ätzen. Die Kammer kann auf Vakuumniveaus von etwa 1 x 10-7 Torr evakuiert werden und wird mit einem PID-Temperaturregler temperaturgeregelt. SEZ SP 304 kann auch für hohe Ätzraten und eine genaue Kontrolle über Plasmaparameter optimiert werden. Dies geschieht durch Nachbearbeitung der Plasmaparameter, um Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit der Ätztiefe und der Mustergröße zu gewährleisten. Zusammenfassend ist LAM RESEARCH SP 304 ein fortschrittlicher Plasmaätzer/Ascher, der in der Lage ist, hochauflösende Plasmabilder und Ätzmaterialien bei höheren Temperaturen als die ECR-Kammer zu erzeugen. Es besteht aus zwei Kammern und kann für hohe Ätzraten und Genauigkeit optimiert werden.