Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH SP 304 #9093794 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH SP 304 Ätz-/Ascher-Ausrüstung ist ein Werkzeug zum Ätzen und Aschen von Substratmaterialien für den Halbleiterherstellungsprozess. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Verfahrensschritten durchzuführen, wie Naßätzen, Trockenätzen, Photoresist-Strippen und Resiststreifenätzen. Das System verfügt über zwei unabhängige Prozessmodule mit jeweils einer eigenen unabhängigen Steuereinheit. Das erste Modul ist eine Ätzstation, die zum Ätzen der Substratmaterialien verwendet wird. Es verfügt über programmierbare Ätzprozesse, wie reaktives Ionenätzen, Plasmaätzen und Trockenätzen. Die Ätzstation ist auch in der Lage, Reinigungs- und Selektivitätsschritte wie Oxideintauchen, Photoresist-Strippen und Resiststreifenätzen durchzuführen. Das zweite Modul ist eine Aschestation. Es wird zur Entfernung von Photoresists, Polyimiden und anderen organischen Materialien aus dem Substratmaterial verwendet. Diese Funktion ermöglicht es, maskenlose Lithographievorgänge sehr schnell durchzuführen. Beide Prozessmodule sind auf maximalen Durchsatz und Flexibilität ausgelegt. Sie verfügen über fortschrittliche Prozesssteuerungssysteme, die eine präzise Temperatur- und Leistungsregelung gewährleisten. Zusätzlich ist jedes Modul mit einer Schnellspülung ausgestattet, die ein schnelles Vollfeldätzen und -veraschen ermöglicht. Außerdem weisen die beiden Module eine integrierte Endpunkterkennungsmaschine auf, die das Ende eines beliebigen Ätz- oder Ascheschritts erkennen und den Prozess entsprechend anpassen kann. SEZ SP 304 ist ein robustes Werkzeug, das sicher und zuverlässig arbeitet und ein Minimum an Benutzerpflege erfordert. Der Vermögenswert entspricht Sicherheits- und Umweltstandards wie IS09001 und SEMI S2. Die niedrigen Kosten und die kompakte Bauweise des Modells machen es zu einer idealen Wahl für etablierte und aufstrebende Fabs. LAM RESEARCH SP 304 Ätzer/Ascher ist eine sehr vielseitige Ausrüstung, die in der Lage ist, zahlreiche Prozessschritte durchzuführen. Es gibt Herstellern die Fähigkeit, zu ätzen und Asche mit ausgezeichneten Erträgen, während auch konstante und zuverlässige Ergebnisse. Es ist ein kostengünstiges und effizientes Werkzeug, das Qualität im Halbleiterherstellungsprozess gewährleistet.