Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH SP 323 #293824790 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH SP 323 ist ein Ätzer/Ascher für eine breite Palette von Materialätz- und Ascheanwendungen. Diese Ausrüstung ist für hohen Durchsatz optimiert und eignet sich für schnelle Wendeanwendungen. Dieses System kann Wafer verschiedener Größen und Materialien mit einer 12-Zoll-Mehrkammerprozesskammer verarbeiten. SEZ SP 323 ist mit der neuesten Technologie gebaut und verfügt über SEZ patentierte Multi-Reactor-Technologie TM, die die Lieferung von verschiedenen Ätz- und Aschemikalien in einer Kammer ermöglicht. Es ist ferner mit hochmodernen HF- und DC-Plasmaquellen ausgelegt, um einheitliche und reproduzierbare Prozessergebnisse über Wafer-zu-Wafer und Kammer-zu-Kammer zu gewährleisten. Dieses Gerät bietet Präzisionssteuerung mit einer hohen Wiederholbarkeit für Wafer-Batch-Anwendungen. LAM RESEARCH SP323 bietet auch eine breite Palette von Prozessunterstützungsfunktionen wie Drucküberwachung, Temperaturregelung, Feuchtigkeitsüberwachung, Partikelfiltration und Dampfabgabe. Darüber hinaus bietet die Maschine eine Plattform für anwenderkonfigurierbare Prozessparameter und die Integration von HF-Wafer-Mapping-Lösungen. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung der Prozessparameter über die verschiedenen Kammern hinweg, wodurch Verfahrensingenieuren mehr Freiheit beim Erstellen von Rezepturen und der Aufrechterhaltung der Prozesskonsistenz-Charge nach dem Batch gewährt wird. SP323 ist mit einer umfassenden Benutzeroberfläche mit einer intuitiven grafischen Oberfläche und Datenbankkonnektivität konzipiert, so dass Benutzer Rezepte und Prozessparameter einfach anpassen können. Dieses Tool bietet auch flexible Remote-Prozessüberwachung und -steuerung, einschließlich Echtzeit-Datenzugriff und Reporting-Funktionen. Insgesamt ist SEZ/LAM RESEARCH SP323 eine ideale Ätz-/Ascherlösung für eine Vielzahl von Materialätz- und Ascheanwendungen. Es bietet fortschrittliche Prozessparametersteuerung, präzise wiederholbare, Prozessergebnisse, breite Prozessunterstützung und intuitive Benutzeroberfläche und eignet sich daher hervorragend für schnelle und komplexe Fertigungsprozesse.