Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH SP 323 #9211042 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH SP 323 ist ein Ätzer/Ascher zum Trockenätzen und Aschen von Silizium, Kupfer, Glas und anderen Materialien. Es verfügt über eine quarzbeschichtete, großflächige Kammer, erwärmt bis zu 2450 ° C für hochdichtes Plasmaätzen. Es arbeitet unter hochdichtem Plasma (HDP) und hat eine beeindruckende Abscheidungsrate von bis zu 10A/min. SEZ SP 323 bietet eine Reihe von Kammern zur Auswahl, abhängig von der Größe des Objekts und der Art des Ätzens/Aschens, die durchgeführt werden muss. Mit einem Vakuumbereich von 10-5 Torr bis 10-4 Torr und einer Leistungsabgabe von bis zu 40kW (wenn auf eine HF-Frequenz um 13,56 MHz gepumpt, ist es ideal für komplexe Ätzaufgaben. Um Schäden an empfindlichen Oberflächen zu vermeiden, liefert die Kammer auch eine Elektronenflutpistole und Stickstoff rückgekühlte Wände, um sicherzustellen, dass es keine chemische Kontamination gibt. LAM RESEARCH SP323 besteht aus zwei Kammern: einer Vakuumkammer und einem HF-Generator. Die Vakuumkammer ist verschlossen, um gleichmäßige Verarbeitungsbedingungen zu gewährleisten. Die Kammer besteht aus Quarz, was eine längere Lebensdauer und eine bessere Verarbeitungsgenauigkeit für kritische Anwendungen bietet. Der HF-Generator sendet Hochfrequenzwellen in die Kammer und ermöglicht eine präzise Steuerung der Prozessparameter. SEZ/LAM RESEARCH SP323 ist mit einer Vielzahl von Diagnosewerkzeugen wie Quad And Digital HF-Spektroskopie-Systemen, Faraday-Sonde, Massenspektrometrie-System und computergestützte Plasma-Diagnostik ausgestattet. Diese Systeme ermöglichen präzise Messungen von Eigenschaften wie Elektronentemperatur, Ionentemperatur, Plasmaspezies und Dichte sowie Reaktanten-/Produktverhältnisse. Dies hilft dem Anwender, die besten Verarbeitungsbedingungen für die jeweilige Aufgabe zu ermitteln. Insgesamt ist SP 323 ein leistungsstarker Ätzer/Ascher, der auch für die anspruchsvollsten Trockenätz- und Ascheaufträge entwickelt wurde. Mit ihrer großflächigen Quarzkammer, stickstoffgekühlten Wänden und dem HF-Generator bietet die Maschine eine optimale Umgebung zum Ätzen und Aschen von Silizium, Kupfer, Glas und anderen Materialien. Darüber hinaus eignet es sich aufgrund seiner hohen Abscheiderate für Serienumgebungen.