Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH SP 323 #9366266 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH SP 323 ist ein Ätzer/Ascher für den Einsatz in der Halbleiter- und FPD-Produktion (Flat Panel Display). Es bietet automatisierte Leistung für eine Vielzahl von Ätz- und Streifen-Stripping-Chemikalien. Diese vielseitige Ausrüstung verfügt über eine fortschrittliche Systemintegration, hochrangige Prozesssteuerung und mehrstufige Automatisierung. SEZ SP 323 verfügt über einen geringen Platzbedarf, wodurch die Integration in bestehende Produktionslinien einfach ist. Der modulare Aufbau sorgt für einen schnellen Austausch von Komponenten, was zu Demontage- und Montagezeiten von weniger als 15 Minuten führt. Die Einheit verfügt über eine zweizonige Split-Zone Reflexion und Impingement. Dies ermöglicht eine erhöhte Substrat- und Prozessgleichförmigkeit für unterschiedliche Düsen- und Modulgrößen, Prozesse und Temperaturen. Die Maschine verfügt über schnelle, große Kammer-zu-Kammer-Transportmöglichkeiten. Dies ermöglicht bis zu 44 Module pro Batch-Prozess in jeder Rezeptkombination und bietet Platz für bis zu vier aktive Module pro IC (integrierte Schaltung). Darüber hinaus verfügt LAM RESEARCH SP323 über eine dreidimensionale Plasmaimpedanzregelung mit einem einstellbaren Hochfrequenzleistungsgenerator. Darüber hinaus enthält SP323 ein erweitertes Softwarepaket, um eine genauere Kontrolle über jeden Batch-Run zu gewährleisten. Dazu gehört ein leistungsfähiges, flexibles Rezept-Editor und Datenanalyse-Software-Paket, das eine vollständige Fernbedienung und Überwachung des Ätzprozesses ermöglicht. Das Paket ermöglicht auch die Parameterabstimmung und Feinabstimmung, die eine Optimierung des Ätzprozesses ermöglichen. Schließlich bietet SEZ SP323 verbesserte Sicherheitsfunktionen wie eine automatische Temperaturüberwachung, ein eingebautes Sicherheitsverriegelungswerkzeug und einen optionalen, nach Klasse I, Division II zertifizierten, gefährlichen Standortschrank. Dies macht das Gut ideal für jede gefährliche Umwelt. Zusammenfassend ist SP 323 ein Ätzer/Ascher für Halbleiter, FPD und andere Produktionslinien. Es zeigt einen kleinen Fußabdruck, Moduldesign, Hochleistungstransportfähigkeiten und fortgeschrittenes Softwarepaket für das optimierte Ätzen. Darüber hinaus verfügt es über verbesserte Sicherheitsfunktionen, so dass es ideal für gefährliche Umgebungen.