Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH SP 4300 #293821688 zu verkaufen
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SEZ/LAM RESEARCH SP 4300 ist ein voll ausgestatteter Ätzer/Ascher mit fortschrittlicher Produktivität und Prozessfähigkeit für die Halbleiterherstellung. Dieses Modell kann eine Vielzahl von Ätz- und Ascheprozessen unterstützen, darunter tiefenreaktives Ionenätzen (DRIE) und chemisch-mechanisches Polieren (CMP), um Material schnell und genau zu entfernen. Ausgestattet mit fortschrittlichen Prozesskontrollwerkzeugen ist SEZ SP 4300 eine ideale Lösung für Produktionsumgebungen mit hohem Ertrag. LAM RESEARCH SP 4300 wird mit einer zuverlässigen Prozesskammer mit thermischer Sensortechnologie gebaut. Diese Kammer ist in der Lage, bei niedrigen oder hohen Drücken mit einem Bereich von Temperaturen und Gasgemischen zu arbeiten, was das Ätzen oder Aschen der anspruchsvollsten Produktionsaufgaben ermöglicht. Die Kammer ist auch mit reinigbaren Komponenten ausgelegt, um Partikelverunreinigungen zu minimieren, so dass keine zusätzlichen Reinigungszyklen erforderlich sind. Die Kammer ist mit einem hochgenauen Quarzdruckwandler und einem aktiven ICR-Verdampfer zur präzisen Steuerung von Ätz- und Ascheprozessen ausgestattet. Neben der Prozesskammer verfügt SP 4300 über eine Reihe fortschrittlicher Prozesswerkzeuge, um sicherzustellen, dass die höchste Ausbeute erzielt wird. Die Maschine ist mit einem Transport-Subsystem ausgestattet, das für den präzisen Transport von Waferkassetten in der gesamten Prozesskammer mit maximaler Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit ausgelegt ist. SEZ/LAM RESEARCH SP 4300 bietet die Wahl eines optionalen automatisierten Ätzsteuergeräts (ECS), das proprietäre Algorithmen und Software verwendet, um den Gasfluss, die Temperatur und andere Ätz-/Ascheparameter genau zu steuern. Es verfügt auch über eine Computerschnittstelle zur Fernüberwachung und Datenerfassung von Prozessparametern. Diese hochmoderne Maschine ist auch mit Funktionen ausgelegt, die maximale Produktivität ermöglichen. SEZ SP 4300 ist mit einem schnellen Zykluszeitkontrollsystem ausgestattet, das Ätz- und Ascheprozesszeiten für erhöhten Durchsatz reduzieren kann. Die Maschine verfügt auch über eine fortschrittliche Ladeblockiereinheit, die ein schnelles und zuverlässiges Be- und Entladen von Wafern mit maximaler Sicherheit für den Bediener ermöglicht. Insgesamt ist LAM RESEARCH SP 4300 eine hochfähige Ätz-/Aschermaschine mit fortschrittlichen Prozesssteuerungs- und Produktivitätsmerkmalen für maximale Ausbeute und Genauigkeit bei der Halbleiterherstellung. Mit seinem kostengünstigen, zuverlässigen Betrieb und hervorragenden Prozesskontrollwerkzeugen ist dieses Modell eine ideale Lösung für jede Produktionsumgebung.
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