Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH SP 4300 #9276828 zu verkaufen

SEZ / LAM RESEARCH SP 4300
ID: 9276828
Wafergröße: 12"
Etcher, 12" (4) Chambers.
SEZ/LAM RESEARCH SP 4300 ist ein fortschrittlicher, automatisierter Ätzer/Ascher, der für präzise und effiziente Ätz- und Ascheanforderungen in der Halbleiter- und optoelektronischen Geräteherstellung konzipiert ist. Es nutzt eine drei Zonen Diffusion angetriebene Sauerstoff-Plasma-Quelle, um eine signifikant höhere Ätz-/Ascheeffizienz zu bieten. Darüber hinaus ist das Gerät in der Lage, eine einstellbare Konzentration an reaktiven Spezies bereitzustellen, die eine größere Kontrolle über den Ätz-/Aschevorgang und das Endergebnis ermöglicht. Das System besteht aus einem Asher/Etcher-Modul, einer Netzwerksteuerung und einer Vielzahl von Komponenten, wie einer Vakuumkammer, einer Zugstange, einer Aufsprühreagenz-Managementeinheit, einer Schnittstellenkarte, Stromversorgungen und einer Vakuumpumpe. Das Asher/Etcher-Modul ist für die Bereitstellung des Plasmas verantwortlich, indem es eine Sauerstoffplasmaquelle mit Diffusions- und Dissoziationskräften verwendet. Zum Betrieb der SEZ SP 4300 wird die Vakuumkammer mit gewünschtem Gas, wie Asargon, Xenon oder Sauerstoff, gefüllt. Das reaktive ionisierte Gas gelangt dann in die Kammer, wo es auf einen proprietären HF-Leistungsverstärker trifft, nach dem das Plasma eingeleitet wird. Dieses Plasma erzeugt ein homogenes Feld, das gleichmäßig über die Kammer verteilt ist und präzise Ätz- und Ascheoperationen ermöglicht. Die Netzwerksteuerung stellt die Benutzeroberfläche und Software zur Steuerung der Ätz- und Aschevorgänge zur Verfügung. LAM RESEARCH SP 4300 ist in der Lage, je nach Betriebsanforderungen sowohl Trockenätz- als auch Nassätzverfahren sowie chemische und Gasprozesse herzustellen. Darüber hinaus verfügt es über eine vierstufige Gasfördermaschine, die eine wiederholbare und präzise Einstellung der gewünschten Prozesskonzentrationen ermöglicht. Darüber hinaus verfügt das Werkzeug über eine breite Palette an verfügbaren einstellbaren Betriebsparametern, die ein hohes Maß an Flexibilität ermöglichen. Abschließend ist SP 4300 ein leistungsstarker, ergonomischer und effizienter Ätzer/Ascher, der für die präzisen und effektiven automatisierten Ätz- und Aschevorgänge der Halbleiter- und optoelektronischen Fertigung konzipiert ist. SEZ/LAM RESEARCH SP 4300 bietet mit seiner breiten Palette an Einstellbarkeit und Flexibilität eine große Präzision und Kontrolle beim Ätzen und Aschen und ist damit eine ideale Lösung für jede Ätz-/Ascheanforderung.
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