Gebraucht SEZ / LAM RESEARCH SP 4300 #9397344 zu verkaufen

SEZ/LAM RESEARCH SP 4300 ist ein Ätzer/Ascher zur Verarbeitung einer Vielzahl von Materialien in der Halbleiterindustrie. Es ist für hohen Durchsatz ausgelegt und ermöglicht fortschrittliche Technologieprozesse in den anspruchsvollsten Anwendungen. Mit einer großen Bearbeitungskammer und einer Multi-Tool-Konfiguration ist der SEZ SP 4300 eine vielseitige Plattform für eine Reihe von Ätz- und Ascheprozessen. LAM RESEARCH SP 4300 bietet eine präzise Steuerung der Oberflächenbearbeitung mit seinen fortschrittlichen Präzisionsplasma-Steuerungssystemen, die mit einer Vielzahl von RF RF/DC-Konfigurationen umfasst. Seine Gleichmäßigkeit und gesamte Waferabdeckung wird durch eine einzigartige, Multi-Pon-Port induktiv gekoppelte Plasmaquelle (ICP) verbessert. Seine innovative automatisierte Endpunktregelung und ausgeklügelte Leistungsregelungssysteme sorgen für präzise Prozessergebnisse, auch bei der Verarbeitung mit flüchtigen Materialien oder anderen schwer ätzbaren Materialien. SP 4300 verfügt über eine automatische Lade-/Entladevorgangskammer, die einen konstanten, hohen Durchsatz gewährleistet und große Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 Zoll handhaben kann. Das geschlossene System zum automatischen Laden/Entladen verhindert Verschmutzungen und hält Felder auf dem Wafer sauber und gleichmäßig. Ein beheiztes Substrat und Probenfutter, gekoppelt mit fortschrittlichen Prozesssteuerungssystemen, ermöglicht eine zuverlässige Prozess- und Temperaturregelung. SEZ/LAM RESEARCH SP 4300 ist auch für einfache Wartung mit abnehmbaren Kammern und Baugruppen für einfache Reinigung und Austausch konzipiert. Der SEZ SP 4300 verfügt über eine Reihe von Optionen, darunter einen integrierten Roboter-Wafer-Handler für Roboter-Wafer-Transfers und ein Arbeitskammersicherheitssystem zum Schutz von Personal und Maschinen durch Überwachung der atmosphärischen Bedingungen. LAM RESEARCH SP 4300 ist mit seinen umfassenden Prozessleitsystemen, der großen Bearbeitungskammer und den vielfältigen Optionen ein ideales Werkzeug für die fortschrittlichsten Ätz- und Ascheprozesse.