Gebraucht SEZ SP 201 #293821357 zu verkaufen
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SEZ SP 201 ist ein Ätzer/Ascher der SEZ Group. Es ist eine ideale Maschine zum Ätzen und Aschen von kleinen und mittleren Wafern und Substraten in der Halbleiter- und Automobilindustrie. Die Maschine hat eine kompakte Größe und ist dank der intuitiven grafischen Benutzeroberfläche einfach zu bedienen. SP 201 hat eine Abmessung von 1000 x 600 mm und arbeitet im Temperaturbereich von 20 ° C bis 350 ° C. Es hat eine maximale Prozessfläche von 17 x 17 mm. Die Maschine ist in der Lage, eine maximale Ätzgeschwindigkeit von 70 Millimeter pro Sekunde und eine minimale Ätzgeschwindigkeit von 5 Millimeter pro Sekunde zu erreichen. Es ist auch in der Lage, eine maximale Substratgröße von 250 x 250 mm zu handhaben. Die Maschine wird von vier bürstenlosen Motoren angetrieben und ist mit einer Ladekammer, einem Drucksensor und einer integrierten Gasförderausrüstung ausgestattet. Es kommt auch mit einer eingebauten Drucksteuerung, Echtzeit O 2 und CO 2 Messung, und eine O 2 Versorgung von einem speziellen Generator. SEZ SP 201 ist mit einer PC-basierten Software-Steuerung und einer industriellen Kommunikationsschnittstelle ausgestattet. Es enthält auch eine erweiterte ROS-Qualitätskontrolle und Wafer-Ausbeute Optimierungseinheit. Die Maschine führt einen kurzen Zyklusbetrieb und eine temperaturgesteuerte kritische Ätzung durch. Es verfügt auch über präzise Positionierung und stabile Prozesskontrolle, sowie erweiterte Inspektionswerkzeuge. Darüber hinaus ermöglichen die erweiterten Sicherheitsfunktionen des SP 201 den Schutz der Prozessumgebung. Es beinhaltet einen aktiven thermischen Sensor, einen Luftreiniger mit einem Luftverschluss und Abgasventilatorsysteme. Die Maschine verfügt über eine offene Plattform mit der Fähigkeit, Prozesswerkzeuge wie eine automatisierte Vision-Maschine zu integrieren. Insgesamt ist SEZ SP 201 ein zuverlässiger und kostengünstiger Ätzer/Ascher für die Halbleiter- und Automobilindustrie. Es bietet eine präzise Steuerung des Ätzprozesses mit fortschrittlichen Sicherheitsmerkmalen sowie eine optimierte Langzeitätzleistung und Prozesssicherheit.
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