Gebraucht SHIBAURA BM-1400PC #190674 zu verkaufen
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ID: 190674
Wafergröße: 8"
Photo Catalyst (Hydrophilic Mirror) Sputtering System, 8"
Specifications:
Single-wafer load lock
Supports wafers up to a maximum of 8"
(5) processing chambers (Sio2: 2 layer, Tio2: 2 layer
Inverse sputtering with our original cup gun method
Heating unit included
Wafer size is 265 mm, Effective real coating diameter is 248 mm
Coating uniformity: ±4%
Vacuum pump: TMP (Turbo Molecular Pump) and Rotary Pump
Mass flow control: MFC and Flow check
Main configuration:
Sputter Chamber: SiO2 + TiO2 + Sio2 (Total working chambers: 6)
Heating Chamber, Loading, unloading, Control panel, Utility Gauge, Panel, Emergency Button
Sputtering chamber configuration:
Cooling Plate
Magnet
Target: Reactive magnetron, Oxygen
Sputter Chamber
Heating chamber configuration:
IR lamp heater
Upper and lower heater
Control panel:
Main breaker
Emergency SW
Interlock release Plug
Vacuum gauge
Pirani Gauge (1, 2, 3; H, M, Low vacuum check)
Bourdons Vacuum Gauge
Pulse generator:
Power Supply: DC: 16 ea
Power Breaker: 16 pcs.
SHIBAURA BM-1400PC ist ein hochpräziser Ätzer von Materialien wie Glas, Metall und Kunststoff, der den Anforderungen der größten und komplexesten Projekte gerecht wird. BM-1400PC verfügt über eine einzigartige hochpräzise Musterfähigkeit, die perfekt für die besonderen Detailaufträge funktioniert. Es verfügt über moderne Komponenten, eingebaute Software, Sensoren und Automatisierung. In Verbindung mit präzisen Workflow-Management-Funktionen ist SHIBAURA BM-1400PC eine unschlagbare Lösung für einzigartige und komplizierte Muster. BM-1400PC ist mit einem robusten vergoldeten Substrat aufgebaut, das mit fortschrittlichen Waferbearbeitungssystemen verbunden ist. Die Reaktionskammer ist äußerst stabil und bietet während des gesamten Bearbeitungszyklus eine sehr konsistente Umgebung, was die Ätzgenauigkeit weiter verbessert. Seine fortschrittlichen Temperatur- und Durchflussregelungssysteme liefern konsistente Ergebnisse, die sowohl den Anforderungen niedriger als auch hitzestarker Anwendungen gerecht werden können. Das luftgekühlte Substrat ermöglicht zusammen mit Automatisierung und Software weniger Chemie und qualitativ hochwertigeres Ätzen. SHIBAURA BM-1400PC ist mit einer großen Auswahl an chemischen Ätzmitteln kompatibel und kann Parameter wie Ätzmittelkonzentration, Flüssigkeitsdurchsatz, Temperatur und pH-Wert regulieren. Darüber hinaus verfügt es über konzipierte Sicherheitssysteme, die eine maximale Sicherheit während des Ätzprozesses gewährleisten. Darüber hinaus bietet die Maschine eine hocheffiziente Workflow-Planung, Leerlauf- und Ressourcenverwaltung sowie Datenerfassung und -analyse. Darüber hinaus ist BM-1400PC in der Lage, RIE (reactive ion etching) durchzuführen und eine große Auswahl an Gasen für unterschiedliche Ätzergebnisse wie Abscheidung, Ätzen, Netzteile, Gase usw. zu unterstützen. Die Maschine verfügt über ein vollfarbiges 10,4-Zoll-LCD-Display sowie eine Reihe von Zubehör wie Edelstahlschränke, Kühlanalysesysteme und andere Komponenten. Insgesamt ist SHIBAURA BM-1400PC ein robuster, fortschrittlicher Ätzer und Ascher, der sich ideal für komplizierte Muster auf einer Vielzahl von Materialien eignet. Es ist in der Lage, präzise und zuverlässige Ergebnisse zu liefern, um sicherzustellen, dass die Projekte auf dem höchstmöglichen Standard abgeschlossen werden.
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