Gebraucht SHIBAURA CDE 7-3A #9226076 zu verkaufen

SHIBAURA CDE 7-3A ist ein Ätzer/Ascher für reaktive Ionenätz- (RIE) und Plasmaveraschungsanwendungen. Dieses Gerät ist mit einer 12 "-Turbopumpe ausgestattet, die eine maximale Ätz-/Aschegeschwindigkeit von 100nm/min bietet. Es ist auch mit einer geräuscharmen HF-Stromquelle ausgestattet, die zwischen 1 und 600 W Leistung bei 13.56MHz Frequenz liefert. Darüber hinaus verfügt CDE 7-3A über eine Vakuumkammer mit einem Innenraum, der 11 Inch-L x 7,5 Inch-W x 7,5 Inch-H misst, und das Gerät ist in der Lage, in einer Vakuumumgebung von 10-4 Pa.Das Gerät umfasst eine Gasdosierung und Versorgungssystem, die genaue Kontrolle der Reaktionsbedingungen ermöglicht. Die Kombination aus geräuscharmer HF-Stromquelle, Gasdosier- und Versorgungssystem und Turbopumpe ermöglicht präzises Ätzen und Aschen. SHIBAURA CDE 7-3A verfügt außerdem über einen variablen Drucksensor, eine granulare Abschirmung und eine Reihe von Heizelementen, mit denen der optimale Druck gewählt, Sekundärreaktionen unterdrückt und jeweils hohe Temperaturen erreicht werden können. Darüber hinaus verfügt die Einheit über einen Speicher, der Rezepte und Prozessbedingungen speichert. Der Ätzer/Ascher profitiert auch von einem intuitiven LCD-Touchscreen, mit dem neben dem Rezeptspeicher auch die Verarbeitungsparameter gesteuert werden. Insgesamt bietet CDE 7-3A eine zuverlässige Plattform zum Ätzen und Aschen von Materialien mit einer maximalen Ätz-/Aschegeschwindigkeit von 100nm/min und einem maximalen Betriebsdruck von 10-4 Pa.