Gebraucht SHIBAURA CDE 80 #293819864 zu verkaufen
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SHIBAURA CDE 80 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschemaschine für Anwendungen in der Lithographie- und Mikroelektronikindustrie. Es wurde entwickelt, um ein hohes Maß an Genauigkeit, Präzision und Zuverlässigkeit zu bieten und gleichzeitig kostengünstig zu bleiben. SHIBAURA CDE-80 etcher/asher verwendet ein induktiv gekoppeltes Plasma (ICP) -basiertes System, um ein Ionisationsfeld für Hochgeschwindigkeit, niedrige Kosten, hohe Genauigkeit Ätzen und Aschen zu schaffen. Die ICP-Einheit verwendet sowohl einen Hochfrequenzgenerator als auch eine gerichtete ICP-Quelle, um einen Plasmastrahl bei niedrigem Druck und niedriger Temperatur unter Verwendung einer einzigen Induktivität zu erzeugen. Die ICP-Maschine ermöglicht die Bearbeitung einer größeren Fläche mit hoher Geschwindigkeit und Genauigkeit. CDE 80 wurde entwickelt, um eine Produktionsrate von bis zu zwanzig Wafern pro Stunde mit einer Mindestdüsengröße von 2,5 Mikron zu bieten. Diese Maschine ist in der Lage, durchgehend Substrate bis zu vierhundert mm Durchmesser zu ätzen und kann eine Vielzahl von Substraten aufnehmen. Das Ätzen erfolgt in einer abgeschirmten Umgebung, die eine Außenwand vereint, die sowohl hygienisch als auch schalldicht ist, während die inneren Komponenten innerhalb einer kontrollierten Temperatur, Feuchtigkeit und atmosphärischen Umgebung bleiben. CDE-80 ist in der Lage, beim Ätzen vor atmosphärischer Oxidation und Kontamination zu schützen. Es verwendet einen Objektbehälter, um sicherzustellen, dass die geätzte Oberfläche richtig bedeckt ist und bei den unterschiedlichsten Temperaturen arbeiten kann, was bedeutet, dass sie eine Vielzahl von Materialien verarbeiten kann. Darüber hinaus kann das Werkzeug auf spezifische Bedürfnisse von Halbleiter- bis Hartpartikelanwendungen ausgelegt werden, und sein feinjustierter Ätzprozess sorgt für eine hervorragende Auflösung und eine geringe Partikelverschmutzung. Diese Anlage ist sehr zuverlässig und wartungsarm. SHIBAURA CDE 80 wurde mit einer Vielzahl von Sicherheitssystemen konzipiert, darunter eine Druckverschlusstür, ein automatisches offenes und nahes Führungsmodell sowie eine Nebelentzündungsanlage. Diese Eigenschaften und mehr machen SHIBAURA CDE-80 eine ausgezeichnete Wahl für Ätzanwendungen, die einen kostengünstigen, präzisen und zuverlässigen Betrieb erfordern.
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