Gebraucht SHIBAURA CFS-12P-100H #32091 zu verkaufen
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ID: 32091
Wafergröße: 3"-6"
Weinlese: 1997
Coating system, 3"-6"
Batch type
Al2O3 Deposition system
RF Soft etching
Temperature: 200°C
(3) Targets, 8"
Deposition: 5 kW RF Generator
Bias: 1.5 kW
1997 vintage.
SHIBAURA CFS-12P-100H ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der es Anwendern ermöglicht, durch die Kombination von spezialisierten Plasma-, Gas- und thermischen Verarbeitungstechniken überlegene Ätz- und Ascheergebnisse zu erzielen. CFS-12P-100H ist in der Lage, sowohl isotropes als auch anisotropes Ätzen und Aschen einer breiten Palette von Materialien zu erzeugen, darunter Silizium, Glas, Keramik und Metall. Das Gerät ist für die direkte Montage in einem Reinraum der Klasse 100 oder Klasse 1000 konzipiert und wurde auf eine Produktionsrate von 100 Stück pro Stunde getestet. Die Prozesskammer der Einheit ist aus Edelstahl gefertigt und mit einer abgedichteten Vakuumkammer, einem Quarzrohr/Kathode, einer Heizung und einer Quarzplatte ausgestattet. Darüber hinaus verhindert ein einzigartiges Doppeldichtungsdesign Verschmutzungen zwischen Kammern, während die fortschrittliche HF-Energieversorgungseinrichtung eine genaue Kontrolle der Eingangsleistung während des gesamten Prozesszyklus ermöglicht. Das Glüh- und Reinigungssystem verwendet eine Keramikheizung und einen integrierten Wärmetauscher, um eine präzise Temperaturregelung und Beseitigung von thermischem Überschwingen zu gewährleisten. SHIBAURA CFS-12P-100H ist auch mit einer erweiterten variablen HF-Stromversorgungseinheit ausgestattet, die eine überlegene Steuerung der Ausgangsleistung bietet, während eine einzigartige Dual-Cavity-Plasmamaschine maximale Ätztiefe und Tieftemperaturbetrieb ermöglicht. CFS-12P-100H ist auch kompatibel mit einer Vielzahl von Gasen und Chemikalien, so dass es ideal für eine breite Palette von Ätz- und Ascheanwendungen. Das Gerät wurde für Sicherheit und Zuverlässigkeit konzipiert, mit mehreren Sicherheitsvorrichtungen zum Schutz der Prozesskammer, des HF-Generators und des Benutzers vor möglichen Gefahren und einer integrierten automatischen Abschaltung im Notfall. Insgesamt ist SHIBAURA CFS-12P-100H ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für überlegene Ätz- und Ascheleistungen konzipiert ist und es Anwendern ermöglicht, auf sicherste Weise Ergebnisse von höchster Qualität zu erzielen.
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