Gebraucht SHIBAURA HCIIW-I-WSU-L #9382336 zu verkaufen

SHIBAURA HCIIW-I-WSU-L ist ein Plasmaätz-/Ätzgerät, das trockenreaktive Ionenätztechnologie (RIE) verwendet. Dieses Ätzsystem ist mit einer Hybridkammer, Hochfrequenzstromversorgung und einer Chlorgasversorgung ausgestattet. Der Hybridätzer vereint die Vorteile eines PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition) und eines RIE-Ätzers. Der Hybridätzer ermöglicht die Abscheidung von Schutzschichten und anschließend das Ätzen von darunter liegendem Material. Das PECVD-Verfahren nutzt Plasmen, die durch die Hochfrequenz-Stromversorgung gebildet werden, um Mikrostrukturen auf verschiedenen Substraten wie Kunststoffen, Metallen oder Glas zu ätzen. Andererseits nutzt das RIE-Verfahren medizinische Cl2 (Chlorgas) zum Ätzen/Ätzen von Materialien bis auf Submikron-Niveau. Das RIE-Verfahren ist ideal für Photomaskenmuster, integrierte Schaltungsdesigns und vieles mehr. HCIIW-I-WSU-L verwendet eine einzigartige Drucksteuereinheit, um die geforderte Ätzrate und den Druck innerhalb der Reaktionskammer aufrechtzuerhalten. Die Vakuumkammer ist für Drücke von 2 × 10 ^ -2 Torr bis 133 mTorr mit einer maximalen Temperatur von 200 ° C ausgelegt. Die Maschine kann eine Grundätzrate von bis zu 500 Angström/Minute auf einer breiten Palette von Materialien wie Silizium, Quarz und anderen dielektrischen Materialien erreichen. Der Ätzprozess wird durch proprietäre Embedded-Software gesteuert, die manuelle und automatische Kontrollen je nach Bedarf des Benutzers ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht die eingebettete Software das Schreiben und Speichern mehrerer Ätzrezepte. Das Ätzrezept kann vom Benutzer optimiert und an das gewünschte Ätzmuster, die Ätzrate und die Wiederholbarkeit angepasst werden. SHIBAURA HCIIW-I-WSU-L Werkzeug ist ein vielseitiges Asset ideal für Rapid Prototyping und Massenproduktion. Es ist ideal für integriertes Schaltungsdesign, Photomaskenherstellung und andere High-Tech-Anwendungen, die präzise Ätz-/Ätzergebnisse erfordern. Dieses Ätzermodell ist zuverlässig, präzise und einfach zu bedienen.