Gebraucht SHIBAURA ICE 300 / CDE 300 #9097207 zu verkaufen

SHIBAURA ICE 300 / CDE 300
ID: 9097207
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2003
Asher, 12" (2) Chambers 2003 vintage.
SHIBAURA ICE 300/CDE 300 Ätzer/Ascher ist eine leistungsstarke automatisierte Musterausrüstung, die Substratoberflächen bis zu einer Größe von 300 mm präzise und schnell verarbeitet. Dieses Modell ist in der Lage, sehr hohe Auflösungen von bis zu 5 Mikrometer zu erzeugen. Es ist mit einem leistungsstarken modularen softwaregesteuerten Ätzsystem ausgestattet, das eine Vielzahl von Prozesschemien aufnehmen kann. Das Gerät ist so konzipiert, dass es komplexe Substrate wie Quarz, Substrate für integrierte Schaltungen und monolithische Substrate mit ungleichmäßigen Topographien unterstützt. ICE 300/CDE 300 verfügt über mehrere Funktionen, darunter einen hochpräzisen Roboterarm, einen anspruchsvollen Wäscher zur Reinigung der Oberfläche des Substrats und einen hochfrequenten Ultraschallgenerator. Der automatisierte Arm ist in der Lage, das Substrat genau über dem Ätzer mit Nanometergenauigkeit zu positionieren. Der leistungsstarke Wäscher kann extrem dünne Materialschichten von der Substratoberfläche entfernen, was nahtlose Übergänge im Musterprozess ermöglicht. Der Hochfrequenz-Ultraschallgenerator sorgt für gleichmäßige und gleichmäßige Ätztiefen. SHIBAURA ICE 300/CDE 300 nutzt eine leistungsstarke Bewegungssteuerungssoftware, um die Ätztiefe und -platzierung sowie Prozessparameter wie Temperatur, Konzentration und Zeit genau zu steuern. Mit dieser Software können Anwender die räumlichen Unterschiede zwischen benachbarten Mustern digital anzeigen und steuern. Weitere softwaregesteuerte Funktionen umfassen die Substrathandhabungsstudie, die Testabfrage und die Datenüberwachung. Diese wurden entwickelt, um Ausfallzeiten der Einheit zu reduzieren und den Durchsatz zu optimieren. ICE 300/CDE 300 nutzt auch eine Vielzahl von Sicherheitsprotokollen, um einen sicheren und zuverlässigen Betrieb zu gewährleisten. Dazu gehört eine Auspuffprotalarmmaschine, die sowohl die CO2-Konzentration als auch die HF-Konzentration überwacht; ein Bodenfehlerschutzwerkzeug, das den Stromaustritt überwacht, und ein Mensch-Maschine-Verriegelungselement, das ein Fehlverhalten des Bedieners verhindert. SHIBAURA ICE 300/CDE 300 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der verschiedene Prozesstechnologien wie Nassätzen und Trockenätzen unterstützt. Es bietet hochpräzise Musterfunktionen mit einer extrem genauen und schnellen Verarbeitungsgeschwindigkeit. Dieser Ätzer/Ascher wird von einem leistungsstarken Softwaremodell unterstützt, das alle Funktionen genau und effizient steuern kann und auch eine Vielzahl von Sicherheitsprotokollen bereitstellt. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen ist diese Maschine eine äußerst zuverlässige und kostengünstige Lösung für die Strukturierung von Dienstleistungen.
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